電子銃・イオン源
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電子銃カソード材は主に含浸型タングステンカソードを使用し､電流密度が高くエミッタンスの低い良質の電子ビームを提供 |
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ディスペンサ型カソード多こう質タングステンに酸化バリウムが含浸され、長寿命で高い電子密度が得られる |
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イオン源多こう質タングステンの中に各種イオンを含浸し、フィラメントを通して加熱し、負の電場をかけ、イオンを取り出す |
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高熱基板ヒーター多こう質タングステンやモリブデンなどをベースとし、高真空、大電流でも使用可能、バリウムなどを含侵することによりレーザーやプラズマなどにも応用 |
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ホローカソードプラズマ源制御された電子電流を正確にプラズマ環境に流すことができる |