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高熱基板ヒーター
ヒートウェーブ社（Heat Wave Labs, Inc.）が提供するヒーターは、多こう質タングステンやモリブデンなどをベースとし、高真空、大電流で使用できるように設計されています。各種のヒーター源として使用されているだけでなく、バリウムなどを含侵することによりレーザーやプラズマなどにも応用されています。
※Heat Wave Labs, Inc. http://www.cathode.com
ヒートウェーブ社（米国）は、電子銃、カソード、イオン源、ヒーターなどの製造メーカーです。
ヒートウェーブ社（米国）は、電子銃、カソード、イオン源、ヒーターなどの製造メーカーです。
以下の仕様は全型の高熱基板ヒーターについて選択可能です。
- 超高真空(UHV)使用可能温度1200℃
- ガス無し
- 広範囲ウェハーヒーターへボタン切り替え
- 温度コントローラ付
101339型低プロファイルヒーター
- ヒーター直径：2インチ
- 超高真空(UHV)使用可能温度1200℃
- モリブデン製ヒータ－面に穴付
- サーモカップル・マウント付き
- 後部/中央にリード出口
- ガス無し
- Mo/Re製サポート付 モリブデン製基板
- 1000℃の場合13V、15A
- 1200℃の場合23V、16A
- 1303-04型コントローラを使用
（1303-04型コントローラの資料は別途ご請求ください）
102199型UHVヒーター
- サンプルクリップ付きシールド筐体
- ヒーター面は15°傾斜
- 電源２本とサーモカップル・フィードスルーが付いたCFフランジ（サイズ：2 3/4インチ）に取り付け
- 使用可能温度1200℃のUHV buttonヒーター101137型を使用
102436型XYZ軸マニピュレータ用ヒーターアセンブリ
02436型（外部熱シールド無し）
102435型XYZマニピュレータ
- 使用可能温度1000℃、直径サイズ： 8インチ
- ヒーター表面はモリブデン製なので優れた温度均一性を実現
- ヒーター内部はチェンバから密閉
- ガス冷却
- 1100℃、24.7V、40Aで実証済み
101448型イオナイザヒーター
- ヒーター内径サイズ：1.0インチ
- 101448-01型外部シールド付き（左上写真参照）
101448-02型外部シールド無し（右上設計図参照） - Ta製コア、Taシース・同軸ヒーターエレメント
- 定格温度1200℃（13V、32Aで評価）
- リードは終端
- 放射線遮断付きも製造可能（左上写真参照、オプション）
- シース外径サイズ：0.1インチ、コア直径サイズ：0.04インチ
シース外径サイズ：0.062インチも製造可能 - 101145型イオナイザ/リザーバ・アセンブリに取り付けられたリザーバを加熱するために使用
101292型カスタムO2ヒーター
- ヒーターサイズ：3インチ(縦）×3インチ(横)×0.05インチ（厚み）
- 使用可能温度：1000℃
- カスタム設計により表面全体に300℃の勾配で温度設定可能
- Al2O3製本体には貴金属エレメント付き
- サーモ・カップル機能付きおよびサンプルの取り付けが可能
- 熱／機械コンピュータモデリングおよびFEA(有限要素法)のデータを提供可能
101303-22型コントローラ／電源
本体前面
本体背面
- 温度制御付き電源
- 110VAC、50～60Hz入力、Kタイプ・サーモカップル入力制御（補償）
- 出力電圧：8/16/32Vを選択、94A、出力にヒューズを設置
- 以下の(入力電圧)/(出力電圧)/(出力電流)の組み合わせは内部のトランスタップの設定による120V/32V/47A、120V/16V/94A、120V/8V/94A、240V/32V/47A、240V/16V/94A（出荷時のトランスの設定は120V/16V/94A）
- 前面パネルのPIDコントローラによりパラメータの手動/プログラム化/コンピュータ制御が可能
（Watlow社96コントローラでユーザによるランプ・ソフトウェアのプログラム化、高温制限の設定、ソフトウェア・スタート機能、SCRによる位相角制御が可能） - プログラム可能な温度制御に基づくディジタル・マイクロプロセッサ
- Kタイプ・サーモカップル・インターフェイス用にプリプログラム化
ユーザは前面パネルで選択可能 - Kタイプ・サーモカップル入力コネクタ（補償）
- サイズ：19インチ(幅)×14インチ(奥行き)×7インチ(高さ)、ラックに取り付け
その他のヒーター製品は、PDFカタログをご覧下さい。
(9頁.288KB)