三次元プローブステーション

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本プローブステーションには、同軸落射照明付きの高倍率ズームレンズとCCDカメラを組み合わせた、高性能なズームマイクロスコープが三台搭載されています。
CCDカメラは1/3インチ、光学倍率は0.8×～5.0×です。簡単な操作で変倍、ピント調整が可能です。上部のマイクロスコープにはオプションレンズが装着でき、倍率やワークディスタンスを可変できます。

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X方向の移動は後部レバーで粗動調節、マイクロメータで微動調節

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Y/Z方向の移動は粗動・微動ツマミで調節

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X方向の移動はマイクロメータで微動調節

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ズームマイクロスコープが不要時は取り外しも可能

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本プローブステーションには、同軸落射照明付きの高倍率ズームレンズとCCDカメラを組み合わせた、高性能なズームマイクロスコープが三台搭載されています。
CCDカメラは1/3インチ、光学倍率は0.8×～5.0×です。簡単な操作で変倍、ピント調整が可能です。上部のマイクロスコープにはオプションレンズが装着でき、倍率やワークディスタンスを可変できます。

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X方向の移動は後部レバーで粗動調節、マイクロメータで微動調節

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Y/Z方向の移動は粗動・微動ツマミで調節

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X方向の移動はマイクロメータで微動調節

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ズームマイクロスコープが不要時は取り外しも可能

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本プローブステーションには、同軸落射照明付きの高倍率ズームレンズとCCDカメラを組み合わせた、高性能なズームマイクロスコープが三台搭載されています。
CCDカメラは1/3インチ、光学倍率は0.8×～5.0×です。簡単な操作で変倍、ピント調整が可能です。上部のマイクロスコープにはオプションレンズが装着でき、倍率やワークディスタンスを可変できます。

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X方向の移動は後部レバーで粗動調節、マイクロメータで微動調節

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Y/Z方向の移動は粗動・微動ツマミで調節

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X方向の移動はマイクロメータで微動調節

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ズームマイクロスコープが不要時は取り外しも可能

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プロービングステージには、X/Y/Z軸マイクロメータ微動調整ツマミと、θ方向に移動できる回転台を装備しています。位置決めを行った後、X方向に平行移動させると基板のライン上を、またY方向に平行移動させるとラインのピッチ間をスムーズに移動でき、連続測定が容易になります。

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ポジショナーテーブルにはX/Y/Z軸の調整ツマミを装備。Y軸、Z軸はロック固定することができます。 ポジショナーテーブルと上に置かれるマイクロポジショナーは、強力マグネットでしっかりと吸着固定されます。

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ワークプレート上の測定物は、真空ポンプで吸着されており、安定した測定が可能です。付属の真空ペンで測定物の吸引、離脱を簡単に行え、汚れの付着を防げます。

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プロービングステージには、X/Y/Z軸マイクロメータ微動調整ツマミと、θ方向に移動できる回転台を装備しています。位置決めを行った後、X方向に平行移動させると基板のライン上を、またY方向に平行移動させるとラインのピッチ間をスムーズに移動でき、連続測定が容易になります。

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ポジショナーテーブルにはX/Y/Z軸の調整ツマミを装備。Y軸、Z軸はロック固定することができます。 ポジショナーテーブルと上に置かれるマイクロポジショナーは、強力マグネットでしっかりと吸着固定されます。

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ワークプレート上の測定物は、真空ポンプで吸着されており、安定した測定が可能です。付属の真空ペンで測定物の吸引、離脱を簡単に行え、汚れの付着を防げます。

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プロービングステージには、X/Y/Z軸マイクロメータ微動調整ツマミと、θ方向に移動できる回転台を装備しています。位置決めを行った後、X方向に平行移動させると基板のライン上を、またY方向に平行移動させるとラインのピッチ間をスムーズに移動でき、連続測定が容易になります。

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ポジショナーテーブルにはX/Y/Z軸の調整ツマミを装備。Y軸、Z軸はロック固定することができます。 ポジショナーテーブルと上に置かれるマイクロポジショナーは、強力マグネットでしっかりと吸着固定されます。

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ワークプレート上の測定物は、真空ポンプで吸着されており、安定した測定が可能です。付属の真空ペンで測定物の吸引、離脱を簡単に行え、汚れの付着を防げます。

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マイクロポジショナーは、X-Y-Z軸の3方向からの位置決めにプラスして、2箇所のθ軸回転により高確度な位置決めを保証します。前後、左右および上下方向の位置決めは、X-Y-Z軸のマイクロメーターで微調節します。プローブ先端の平行方向の位置決めは、粗動調整後、θ1軸およびθ2軸で微調節できます(右設計図参照）。マイクロポジショナーは8種類のタイプをご用意しています。

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レールポジショナーは、プローブをレールに沿って移動させるとプローブの向きを90度かえることができます。プローブ上部のθ調節ネジを緩めると、あおり角±3°で移動できます。プローブの向きを水平および垂直方向に簡単に移動できるので、基板やプローブの向きをかえる手間が省けます。プリント基板などの表裏測定に最適です。

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画像モニタを使用すると1台のモニタで最大4系統の映像を表示できます。通常のビデオ出力のほか、SXGA高精細出力またはネットワークを利用した遠隔観察機能が標準装備されています。

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画像計測ソフトウェアを使用すると簡単な操作で画像の取り込み、画像の比較、画像の計測、レポート作成ができます。

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画像計測 ： 動画および静止画状態で計測が行えます。計測結果は画像にオーバ－レイされ、　画像と一緒に保存することもできます。

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画像反転：動画状態で画像を上下、左右に反転できます。

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画像分割：モニタ画面を上下、左右の2分割および4分割表示ができます。

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ユーザ定義マーカー、可変ピッチスケール：マーカーと可変ピッチスケールは、動画、静止画上にオーバーレイできるので、限度範囲の確認や位置合わせに利用できます。

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特殊効果：画像間論理積/和、排他的論理和、画像間加算、その他多彩な効果を実行できます。

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画像の保存、読み込み：画像をJPEG、BMPで保存できます。保存した画像は表示ウインドウだけでなく分割画面でも読み込めるので画像比較が簡単に行えます