マイクロポジショナー

X-Y-Z軸の3方向からの位置決めにプラスして、2箇所のシータ軸回転により高確度な位置決めを保証します。前後、左右および上下方向の位置決めは、X-Y-Z軸のマイクロメーターで微調節します。微妙なプローブ先端の平行調整には、クランプネジで粗調整し、シータ1軸および2軸で微調節します。シータ軸のノブを回すと本体がシータ方向に回転し、プローブの先端が±3°の角度で左右に振られます。

5箇所からの絶妙な位置合わせにより、最高レベルの測定環境が実現され、わずかなズレも許されない厳しい測定条件にもしっかりと対応できます。