プローブステーション

エーイーティー開発のプローブステーションは、様々な形状サイズの測定物も4方向からピタッと位置決めします。

プロービングステージ（測定テーブル）で、X-Y-Z-θの4方向から調節。さらにマイクロポジショナーを用い、X-Y-Zに加えて、2箇所のθ軸で微調節。位置決めの確実性がさらに高まりました。附属アクセサリとして防振台もご用意しています。

半導体ウェハーから高周波回路まで、様々な測定物を高精度にプロービングします。

プロービングステージ

真空ポンプ

真空ペン

特長：

プロービングステージは、X-Y-Z-θの４方向から高精度な位置決めができます。前後、左右および上下にスムーズに移動させ簡単に位置決めを行った後、さらにマイクロメーターでの微調節が可能です。テーブル上の測定物は、真空吸着されており、安定した測定を実現します。また測定テーブルは、測定物の形状に合わせて任意のサイズにカスタム作成できます。付属の真空ペンで微小なサンプルの吸引、離脱も簡単に行え、汚れの付着も防げます。本体前面には電源、真空ポンプ、ライトの各スイッチを装備、またエアーバルブセレクトスイッチでテーブルと真空ペンの吸引の切り替えも可能です。両側の取っ手により移動もラクに行えます。

マイクロポジショナーと
ポジショナーテーブル

マイクロポジショナーとポジショナーテーブルは、強力マグネットで吸着設計されており、フレキシブルなセッティングが可能です。ポジショナーの位置をずらすことで、さらに測定面積が広がり、測定対象の汎用性も広がります。

プローブとプローブ固定金具

プローブ固定金具は、カスタムオーダーが可能です。各社製エアーコプレーナタイプ、セミリジッドタイプ、差動アクティブタイプに対応しますので、お好みのプローブが選択 できます※。プローブでの測定サービスやキャリブレーション、プローブの調整・修理など、プローブに関するご相談も承ります。

※プローブおよびプローブ固定金具のカスタム作成はオプションになります。

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キャリブレーションキット

針先の校正およびTRL/LRM校正キットの設計、製作も行います。

ミックスドモード・Sパラメータ

差動（GSSG）　16種グラフ拡大図

シングルエンド（GSG）

キャリブレーションキットのプローブ測定をスミスチャートで表示しました。10MHz～13.5GHz(左図）、10MHz～40GHz(右図）でうまく整合性がとれているのが分かります。

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