プローブステーション
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三次元プローブステーション3台のCCDカメラ、画像モニタ、計測ソフトが搭載され、三次元デバイスのプローブにも対応 |
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| プローブステーションプロービングステージ、マイクロポジショナー、防振台を装備し、X-Y-Z-シータ軸の4方向から位置決め |
| 卓上タイプ/デスクタイプ 防振台プローブステーションの測定精度や繰り返し再現性の安定度をさらに高めてくれる防振台 |
| 高周波プローブDC～50GHzの範囲で低損失、高再現性、高耐久性を実現したプローブ |