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高周波プローブ lZl-Probe

高周波プローブ

ズース・マイクロテック社(SUSS MicroTec)の高周波プローブlZl Probeは、DC~50GHzの範囲で低損失、高再現性、高耐久性を実現したプローブです。それぞれのプローブが独立した長いコンタクトスプリングを持ち、最大50μmのパッドの段差にも対応し、DUTとの安定したコンタクトが可能です。ウェハおよびパッケージレベルで遠距離通信デバイスや、車載高速デバイス用のレシーバ、トランスミッタなどを高精度に測定します。

※SUSS MicroTec  http://www.suss.com
ズース・マイクロテック社(ドイツ)は、世界トップレベルの技術を誇る精密機器メーカーです。

共通する特長

  • 100万回以上のコンタクトを保証
  • 独立した長い接点スプリング針で最大50μmのパッドの段差にも対応
  • 完全な空気絶縁構造により最小の挿入損失と最大の反射損失を達成
  • アルミニウムおよび金パッド上で低い接触抵抗とRC測定精度を達成
  • 40×40μmの微小パッドまで対応可能
  • 10k~300℃での環境下に対応(一部タイプ)

CSRキャリブレーション・サブストレート(校正基板)

特 長

  • レーザートリミング技術による高精度ロード0.1%達成
  • パッド表面を硬化処理化により長寿命を実現
  • 温度ドリフト(範囲450℃)の安定性は0.3%以内
  • 25種類の校正基板によりパーフェクトなアライメントが可能

SUSS CAL 自動校正ソフトウェア

特 長

  • SUSS CAL 5 (2ポートアプリケーション、 DC~110GHzに対応)
  • 唯一の校正メソッド(LRM+)により、高精度および再現性を達成
  • カスタマイズスタンダードも含めた校正を実現
  • パッドのディエンベディングを不要にする
    SUSS CAL 6 (マルチポートアプリケーション4ポートに対応)
  • セットアップが容易で直感的
  • 全自動マルチポート校正に対応
  • 高い校正再現性