プラズマ装置
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マイクロ波プラズマシステム様々なマイクロ波装置・コンポーネントを選択し組み合わせることで、お客様のニーズにあったプラズマシステムの構築が可能 |
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パルス変調型マイクロ波電源非常に幅広い電力（平均電力1W～1.5W）の可変を、パルス変調で連続的に制御することが可能 |
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ソリッドステート型マイクロ波電源オシレータ発振による出力周波数2.4GHz～2.5GHz 出力電力100Wのオールソリッドステート化マイクロ波電源 |
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マグネトロン（プラズマシステム用)開発から製造まで一貫したプロセスコントロールで、カスタマのニーズに合った製品作りを実現する、MUEGGE（ミュゲ）社のプラズマシステム |
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大気圧小型マイクロ波プラズマ源高価なマイクロ波のマッチング回路が不必要なので省スペース、低コストを実現 |
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プラズマ源マイクロ波とプラズマ技術を有するMUEGGE（ミュゲ）社のプラズマ源 |
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マイクロ波変調 パルスジェネレータ（プラズマシステム用）電源とマグネトロンヘッドにマイクロ波変調用パルスジェネレータを接続することで、マイクロ波出力をパルス制御することが可能 |
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マイクロ波電力モニタ（プラズマシステム用）プラズマシステムの順方向電力と反射電力をモニタするマイクロ波電力モニタ装置 |
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マイクロ波コンポーネント（プラズマシステム用）開発から製造まで一貫したプロセスコントロールで、カスタマのニーズに合った製品作りを実現する、MUEGGE（ミュゲ）社のマイクロ波コンポーネント |
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ソリッドステート型マイクロ波アンプ周波数2.4GHz～2.5GHz 出力電力100Wのオールソリッドステート化マイクロ波アンプ 安定性に優れ、部品交換も不要 |
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マイクロ波プラズマ源（SURFATRON）非共振モード放電により安定したプラズマを生成します。インピーダンスの調整により高い生産性と、ほぼ0％の反射電力で高効率性を実現 |
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マイクロ波ダウンストリーム源純粋で安定した電子プラズマを生成します。コンパクト設計でパーツは取りはずし可能 |