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マイクロ波コンポーネント

マイクロ波コンポーネント
マイクロ波プラズマシステム構成

ミュゲ社（MUEGGE）は、マイクロ波コンポーネントの開発から製造まで一貫したプロセスコントロールで行うことで、カスタマのニーズに合った製品作りを実現しています。ミュゲ社のマイクロ波技術は食品・医療・ガラス・セラミック業界と多方面で需要があり、またプラズマ技術はエレクトロニクス・半導体・医療・機械・繊維・光学業界などで幅広く応用されています。

※MUEGGE ELECTRONIC GmbH　http://www.muegge.de
ミュゲ社（ドイツ）は、マグネトロン電源装置やマイクロ波コンポーネント、プラズマシステムの開発・製造メーカーです。

自動チューニング システム

TRISTAN Automatic Tuning System

TRISTAN Automatic Tuning System

TRISTAN Automatic Tuning System

特長

  • 高速自動インピーダンス整合
  • ベクトル反射係数測定に基づいた正確なチューニングアルゴリズム
  • 順方向電力、反射電力、反射係数(大きさと位相)、スタブポジションなどの読み出し
  • データ収集用のシングルボードコンピュータ内蔵
  • Windows形式のデータ記録ソフトウェア
  • 計測器やモニタリングシステム付きコンピュータにも簡単に組み込み可能
  • コンパクトな設計

オプション

  • 周波数2.46GHz 30kW(最大)
  • 周波数896/915/922MHz 100kW(最大)
  • 導波管WR975(100kWまで)
  • 低電力タイプ
  • パルス同期運転

仕様

導波管タイプWR340IEC 電圧24VDC +/-10%
フランジタイプIEC 損失電力＜45W(移動スタブ)
周波数レンジ2425～2475MHz 長さ260mm
順方向電力(最大)6000W 幅138mm
ダイナミックレンジ20dB 高さ226mm
順方向電力測定エラー整合負荷で +/-5％ 重さ6kg
チューニングレンジVSWR＜10 : 1 冷却方法空冷方式
チューニング精度1％ 周辺温度+5℃～+40℃
チューニングスピード1sec. 標準 保管温度-10℃～+75℃
インターフェイスRS232、CAN
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HOMER2450MHzタイプ

高出力用インピーダンスアナライザ

特長

  • フル稼働状態（896、915、922、2460MHz）でVSWR、周波数、位相、順方向電力、反射電力、吸収電力などの読み出し
  • 極座標図、スミスチャート、リーケ線図をディスプレイ表示
  • データ収集用のオンボードコンピュータ内蔵
  • Windows形式のデータ記録ソフトウェア
    計測器やモニタリングシステム付きコンピュータにも簡単に組み込み可能
  • 希望する特性に合わせて装置をチューニング化、プログラム化、また設計化が可能

仕様

導波管タイプWR340/WR975 IEC
寸法(2450MHzタイプ)260mm（長さ）×143mm（幅）×163mm（高さ）
フランジタイプIEC
重さ(2450MHzタイプ)3.8kg
周波数レンジ910～920MHz
2425～2475MHz
周辺温度5℃～50℃
順方向電力測定エラー整合負荷で +/-5％
保管温度-10℃～75℃
電圧24VDC +/-10%
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アイソレータ

MW1003A-210EC

アイソレータ

仕様

型式MW1003AMW1006/7AMW1009A
周波数2450MHz +/-25MHz2450MHz +/-25MHz2450MHz +/-25MHz
挿入損失最大0.2dB最大0.3dB最大0.15dB
アイソレーション最小23dB最小20dB最小20dB
順方向電力3000W6500W6500W
反射電力3000W6500W6500W
温度範囲+10～+50℃
最大+40℃
(水注入口)		 +10～+50℃
最大+40℃
(水注入口)		 +10～+50℃
最大+40℃
(水注入口)
モニタ
カップリング		66.5dB +/-1dB65dB +/-2dB－
コネクタIEC UDR26-M6IEC UDR26-M6IEC UDR26-M6
モニタNタイプメスコネクタNタイプメスコネクタNタイプメスコネクタ
冷却方法18～20℃の場合
3L/min.最大4bar		N18～20℃の場合
5L/min.最大6bar		N18～20℃の場合
3.4L/min.最大4bar
寸法182×300×98mm182×300×116mm180×115×230mm
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水負荷

MW1002E-260EC

仕様

周波数2.45GHz +/-25MHz 重さ1500ｇ
VSWR＜1.15 電圧最大8bar
モニタNタイプメスコネクタ
6.5kWの場合1.5 +/-0.5mW		 フロー3L/min.標準
電源6.5kW電流

オプション

部品特製フランジ、検出ダイオード
材質アルミニウム、クオーツ、ステンレススチール
仕上げクロメート処理、エッチング処理、
有色クロメート処理、塗装処理
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スタブ チューナ

MW2010A-260EF

スタブ チューナ

特長

  • 高精度マイクロ波スタブチューナ
  • 遠隔操作可能
  • 10回転計測ダイヤル

仕様

電源最大20kWフランジPDR26
周波数2450MHz +/-50MHz重さ3500g (アルミニウム部分)
チューニング
キャップ		1kWの場合VSWR10長さ260mm
導波管WR340/R26

オプション

材質銅、真鍮、ステンレススチール
部品特製フランジ
仕上げ特別仕上げ
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真空ウインドウ

MW0002A-260EC

仕様

周波数2450MHz +/-50MHz導波管WR340
電源6kWWGフランジUDR26
重さ0.75kg圧力10-3mbar
材質アルミニウム、クオーツガラス

オプション

部品特製フランジ
材質アルミニウム
仕上げクロメート処理、エッチング処理、有色クロメート処理、塗装処理
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同軸アダプタ

MW5002Ａ-260YD

特長

  • 低いVSWR
  • 低い挿入損失
  • 大電力

仕様

電源最大800Wコネクタ7/16（50Ω) コネクタ/メス
周波数2450MHz +/-20MHzVSWR＜1.15
導波管WR340/R26材質アルミニウム
フランジ標準重さ850g

オプション

部品特製フランジ
交換タイプ MW-6971-0040
Nコネクタ
Line02-02-D
材質アルミニウム、真鍮、ステンレススチール
仕上げクロメート処理、エッチング処理、銀メッキ処理、塗装処理
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ループ結合器

ループ結合器

MW7008A-260EC

特長

  • 負荷抵抗器付き方向性結合器
  • 入射電力と反射電力をモニタ

仕様

導波管WR340/R26結合器MM1002C-110AB
フランジ標準コネクタNコネクタ
VSWR1.05周波数2.45GHz ±25MHz
電力30kWカップリング60dB ±1
終端50Ω込み指向性最小25dB
重さ約800g

オプション

部品特製フランジ
SMAコネクタ
材質アルミニウム、真鍮、銅
仕上げクロメート処理、エッチング処理、銀メッキ処理、塗装処理
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マイクロ波　サーベイ　メーター

マイクロ波　サーベイ　メーター

MM3001B-110AB

仕様

周波数範囲2450MHz +/-50MHz
測定範囲
（電力密度）		0～100mW/cm2 精度 ±1dB
応答時間2～3秒（低速モード）　1秒以下（高速モード）
最大許容入力連続2000mW/cm2
寸法10.5cm（長さ）×6.8cm（幅）×5.3cm（厚さ）
プローブ長30.5cm
ケーブル長1.0m
マイクロ波　サーベイ　メーター

MM3003B-510AB

仕様

周波数範囲915MHzおよび2450MHz
測定範囲
（電力密度）		0～20mW/m2：915MHzの場合
0～10mW/m2：2450MHzの場合
精度±1dB
最大電力密度2.0 W/cm2
応答時間2.5秒（低速モード）1秒（高速モード）
最大許容入力連続2000mW/cm2
寸法15.3cm（長さ）×9.8cm（幅）×6.4cm（厚さ）
プローブ長30cm
ケーブル長1.2m
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マイクロ波　検出器

MM1001B-110AB

マイクロ波　検出器

特長

  • ゼロ・バイアス使用
  • ショットキー・ダイオード採用
  • 同軸検出器

仕様

周波数範囲880～930MHz2350～2550MHz
周波数応答（最大）±0.25dB±0.5dB
定格出力電圧
140mV220mV
最大VSWR2
定格VSWR1.3
出力電圧の変動±1dB
出力電圧の極性負
温度変動による出力電圧
(5～65℃)		＜3dB
ビデオ抵抗8kΩ
入力RFコネクタN/オス
最大入力10mW
DC出力コネクタBNC/メス
寸法58mm（長さ）×26mm（幅）×26mm（高さ）
マイクロ波　検出器

伝達特性(Rload=33kW、Ta=250C)