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マグネトロン電源装置
ミュゲ社（MUEGGE）は、マグネトロン電源装置やマイクロ波コンポーネントの開発から製造まで一貫したプロセスコントロールで、カスタマのニーズに合った製品作りを実現しています。ミュゲ社のマイクロ波技術は食品・医療・ガラス・セラミック業界と多方面で需要があり、またプラズマ技術はエレクトロニクス・半導体・医療・機械・繊維・光学業界などで幅広く応用されています。
※MUEGGE ELECTRONIC GmbH http://www.muegge.de
ミュゲ社（ドイツ）は、マグネトロン電源装置やマイクロ波コンポーネント、プラズマシステムの開発・製造メーカーです。
同軸型 コンパクト パワーヘッド
Compact Power Head
特長
- コンパクトな設計
- 取り付け容易
- サーキュレータ、ダミーロード、チューナ、 反射モニタポート付き
- 温度スイッチ付き
- 同軸コネクタ付き
- MUEGGE社製MXシリーズに最適
- MUEGGE社製プラズマシステムに最適
オプション
- 特製コネクタ(カスタムオーダー可)
- 導波管WR430/WR340/WR284に変換可能
- 方向性結合器
- 検波ダイオード
- 減衰器
- 変換器
仕様
| 高周波電力 | 1kW/2kW/3kW | 長さ | 200mm |
|---|---|---|---|
| 周波数 | 2.45GHz +/-10MHz | 幅 | 124mm |
| 同軸コネクタ | 7/16同軸 | 高さ | 300mm |
| 冷却方法 | 水冷方式、最大3L/min. | 重さ | 14.5kg |
| 平均故障時間 (MTBF) | ＞7000h |
導波管型 マグネトロン パワーヘッド
MH010KS-210BW MH015KS-310BU
特長
- 水冷式大電力マグネトロン内蔵
- サーキュレータ内蔵
- 水冷式負荷内蔵
- 反射モニタポート
- 長寿命
- 軽量タイプ
仕様
| 型式 | MH010KS-210BW | MH015KS-310BU |
|---|---|---|
| 導波管 | WR284/340/430 | WR430/R22 |
| フランジ | CPR284/340/430 | UDR22 |
| 電源 | 最大10kW | 最大15kW |
| 周波数 | 2.45GHz +/-20MHz | 2.45GHz +/-20MHz |
| 冷却方法 | ＞9L/min.、4bar (内部空冷および水冷方式) | 10L/min、4bar |
| 水冷用コネクタ | ホーススリーブ10mm | ホーススリーブ10mm |
マグネトロン ヘッド 5kW & 30kW
MH030KS-510BW MH030KS-510BW
特長
- フィラメントトランスフォーマ内蔵
- 水冷式マグネトロン内蔵
- 温度スイッチ内蔵
- 密閉箱タイプ
- 取り付け容易
- 軽量タイプ
仕様
| 型式 | MH5000S-510BP | MH030KS-510BW |
|---|---|---|
| 導波管 | WR975/R9 | WR975/R9 |
| フランジ | 標準タイプ | UDR9 |
| 電源 | 最大5kW | 最大30kW |
| 周波数 | 915MHz +/-10MHz | 896/915/922MHz |
| 冷却方法 | 5L/min、3bar | 20L/min以上、最大6bar |
| 水冷用コネクタ | ホーススリーブ10mm | クイックコネクタGEKA19mm |
| 重さ | 45kg | --- |
| 寸法 | 700mm（長さ）×500mm（幅）×620mm（高さ）（循環器含まず） | --- |
ジェネレータ 300W
MG0300D-200TE
特長
- マグネトロン内蔵
- 電源の連続的制御が可能
- リップル出力1％以下（ピークピーク）
- 25kHzまでのパルス動作可能
- 高性能
仕様
| 電源 | 最大連続300W、パルス500W |
|---|---|
| 周波数 | 2.45GHz ＋/－20MHz |
| VSWR | アイソレータ内蔵 |
| 冷却方式 | 空冷方式 |
| 出力 | 7/16同軸 |
| 寸法 | 幅483mm、高さ3ユニット、 奥行き460mm |
| インターフェイス | 4～20mA、 0～10V、 CAN、 RS232 |
オプション
| インターフェイス | 4～20mA、0～10V、CAN、RS232 |
|---|
MS020KE-110DJ MH020KS-310BU
ジェネレータ 20ｋW
仕様
| 周波数 | 2.45GHz ＋/－10MHz |
|---|---|
| 高周波電源出力 | 20kW （10～100％調節可能） |
| マグネトロン | CWM 20S CTL（陽極電圧 14.2kV、陽極電流 2.1A） |
| 導波管 | WR430 |
| 安定性 | 入力電源（陽極）の0.1% |
| リップル | ＜3% |
| 冷却法 | 水冷方式（20L/min.）、4bar |
| 電源 | 3×400V/50Hz/45A |
| オペレーション | インターフェイス PROFI-BUS |
| アセンブリ：電源 | 1スイッチキャビネット： 1×RITTAL：TS 8608.600 600mm（幅）×800mm（奥行き）×2000mm（高さ） |
| アセンブリ： マグネトロンヘッド※ |
アルミニウム製ケース MH020KS-310BU 465mm（幅）×500mm（奥行き）×420mm（高さ） |
※マグネトロンヘッドは、内蔵もしくは外付けが可能
MS030KE-110DL MH030KS-310BU
ジェネレータ 30kW
仕様
| 周波数 | 2.45GHz ＋/－10MHz |
|---|---|
| 高周波電源出力 | 30kW （10～100％調節可能） |
| マグネトロン | CWM 30S CTL（陽極電圧 16.5kV、陽極電流 2.7A） |
| 導波管 | WR430 |
| 安定性 | 入力電源（陽極）の0.1% |
| リップル | ＜3% |
| 冷却法 | 水冷方式（30L/min.） |
| 電源 | 3×415V/50Hz/60A |
| オペレーション | インターフェイス CAN-BUS |
| アセンブリ：電源 | 1スイッチキャビネット： 1×RITTAL : TS 8808.600 425mm（幅）×800mm（奥行き）×418mm（高さ） |
| アセンブリ： マグネトロンヘッド※ | 密閉ボックス MH030KS-310BU 425mm（幅）×500mm（奥行き）×418mm（高さ） |
※マグネトロンヘッドは、内蔵もしくは外付けが可能
MG100KE-411DE
ジェネレータ 100ｋW
仕様
| 周波数 | 896MHz ＋/－10MHz、915MHz ＋/－10MHz |
|---|---|
| 高周波電源出力 | 100kW |
| マグネトロン | CWM 100L （陽極電圧 19.5kV、陽極電流 6A） |
| 導波管 | WR975 |
| 安定性 | 入力電源（陽極）の0.1% |
| リップル | ＜3% |
| 冷却法 | 空冷方式、水冷方式（＞70L/min.） |
| 電源 | 3×400V/50Hz/201A |
| オペレーション | インターフェイス（PLC）、制御ユニット(オプショナル） |
| アセンブリ：電源 | 4スイッチキャビネット： 2×RITTAL : TS 4828.600 800mm（幅）×800mm（奥行き）×2200mm（高さ） 2×RITTAL : TS 4628.600 600mm（幅）×800mm（奥行き）×2200mm（高さ） |
※マグネトロン内蔵タイプです。
MX1250D-110KL
MX2000D-110LL
スイッチング 電源装置
特長
- 電源の連続的制御が可能
- 高性能
- 単一出力電源 (MX1250D-110KL型) 二出力電源 (MX2000D-110LL型)
- 標準リップル出力 (MX1250D-110KL型) 高リップル出力 (MX2000D-110LL型)
- 空気冷却方式 (MX1250D-110KL型) 空気冷却および水冷却方式 (MX2000D-110LL型)
- 稼動用マグネトロンヘッド1200W/2450MHz (MX1250D-110KL型) 稼動用マグネトロンヘッド2000W/2450MHz (MX2000D-110LL型)
仕様
| 高周波電源出力 （型式別） | 最大1200W (10～100% 調節可能) (MX1250D-110KL型) 最大2000W×2 (10～100% 調節可能) (MX2000D-110LL型) |
|---|---|
| 電源（全型共通） | 三相400V、50/60Hz |
| 補助電源（全型共通） | 230V、50/60Hz |
| 冷却方法（型式別） | 内部空冷方式 (MX1250D-110KL型) 内部空冷および水冷方式(5L/min、4bar) (MX2000D-110LL型) |
| アセンブリ（全型共通） | プラグイン式ケース幅483mm、 高さ3ユニット、 奥行き460mm |
| インターフェイス （全型共通） | CAN |
ML2000D
ML3000D
低リップル 電源装置
特長
- 電源の連続的制御が可能
- 高性能
- リップル出力1%以下
- パルス用、プラズマ用に最適
仕様
| 高周波電源出力 （型式別） | 最大2000W (10～100% 調節可能) (ML2000D型) 最大3000W (10～100% 調節可能) (ML3000D型) |
|---|---|
| 周波数（全型共通） | 2.45GHz ＋/－20MHz |
| 電源（全型共通） | 208V、60Hz、16A 400V、60Hz、L1、L2、L3、PE |
| HTコネクタ（全型共通） | Lemosaジャック |
| アセンブリ（型式別） | ビルトイン式483ミリ、高さ6ユニット、奥行き550mm (ML2000D型) ビルトイン式483ミリ、高さ8ユニット、奥行き550mm (ML3000D型) |
| インターフェイス （全型共通） | 標準0～10V |
MS010KE-110DE
MS015KE-110DE
MS020KE-110DE
MS030KE-110DE
スタンダードタイプ 電源
特長
- 電源の連続的制御が可能
- 高性能
- 安定度0.1%
- リップル出力3%以下
- 稼動用マグネトロンヘッド（型式別）
MH010KS-210BW (MS010KE-110DE型)
導波管：WR340、周波数：2450MHz
(MS010KE-110DE型)
MH015KS-310BU (MS015KE-110DE型)
導波管：WR430、周波数：2450MHz
(MS015KE-110DE型)
MH020KS-310BU (MS020KE-110DE型)
導波管：WR430、周波数：2450MHz
(MS020KE-110DE型)
MH030KS-310BU(MS030KE-110DE型)
導波管：WR430、周波数：2450MHz
(MS030KE-110DE型)
仕様
| 高周波電源出力 （型式別） | 10kW (10～100% 調節可能) (MS010KE-110DE型) 15kW (10～100% 調節可能) (MS015KE-110DE型) 20kW (10～100% 調節可能) (MS020KE-110DE型) 30kW (10～100% 調節可能) (MS030KE-110DE型) |
|---|---|
| 電源(全型共通) | 三相400V、50/60Hz |
| インターロック (全型共通) |
外部用安全インターロックライン 内部用安全インターロックライン |
| 冷却方法(全型共通) | 内部空冷方式 |
| アセンブリ（型式別） | Rittal Switch Cabinet TS8606.600 IP54 (MS010KE-110DE型、MS015KE-110DE型、MS020KE-110DE型) Rittal Switch Cabinet PS4808.700 IP54(MS030KE-110DE型) キャビネット寸法／ MS010KE-110DE型： 幅)600mm×高)2000mm×深)600mm MS015KE-110DE型： 幅)600mm×高)2000mm×深)800mm MS020KE-110DE型： 幅)600mm×高)2000mm×深)600mm MS030KE-110DE型： 幅)600mm×高)2000mm×深)800mm ソケット寸法／高さ200mm（全型共通） |
| インターフェイス （全型共通） | 操作パネルと表示パネル(MD2323B-110AA)が前扉に内蔵 PLCディジタル24VDC、アナログ0～10V |
| オプションインターフェイス （全型共通） | CAN(RS232)、Profibus 全供給電圧に対応 |