大気圧小型マイクロ波プラズマ源

エーイーティー開発の大気圧小型マイクロ波プラズマ源は、荷電粒子・プラズマを考慮した3次元電磁界解析の技術と、高Ｑの大電力マイクロ波共振器の設計技術を融合し開発された、マイクロ波ハイブリッドモード型共振器を採用しています。導波管が不要で整合回路を必要としないため、高い自由度でのプラズマ源の設置が可能となり、低コストでのシステム構成が実現します。

大気圧下で作られるプラズマは非平衡プラズマであり、プラズマ温度が低いため熱反応を抑えながら対象物のプラズマ処理が可能となります。

大気中での処理が可能であるため連続プロセス（ベルトコンベヤプロセス）処理にも適しています。

大気圧小型マイクロ波プラズマ源は、各種材料の処理やコーティング、殺菌や洗浄に至るまで幅広い応用が期待できます。
また、生体を含む有機物への対応も可能となるので、全く新しいプラズマの応用が期待されます。特に、カーボンナノチューブをはじめとするナノ粒子やナノテク、バイオ、医療、薬品分野でのプラズマ応用は新しい産業を生み出す可能性を秘めています。