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プラズマ源
ミュゲ社（MUEGGE）は、プラズマシステムの開発から製造まで一貫したプロセスコントロールで行うことで、カスタマのニーズに合った製品作りを実現しています。ミュゲ社のプラズマ技術はエレクトロニクス・半導体・医療・機械・繊維・光学業界などで幅広く応用されています。
※MUEGGE ELECTRONIC GmbH http://www.muegge.de
ミュゲ社（ドイツ）は、マグネトロン電源装置やマイクロ波コンポーネント、プラズマシステムの開発・製造メーカーです。
ミュゲ社（ドイツ）は、マグネトロン電源装置やマイクロ波コンポーネント、プラズマシステムの開発・製造メーカーです。
プラズマ源
MDS Series Downstream Source
仕 様
| 型式 | MDS20 | MDS30 | MDS50 |
|---|---|---|---|
| プラズマ出力(直径) | 20mm | 30mm | 50mm |
| 真空孔 | DN20KF/DN20CF | DN32KF/DN32CF | DN50KF/DN50CF |
| MWタイプコネクタ | IEC UDR26-M6 | IEC UDR26-M6 | IEC UDR26-M6 |
| ガス注入口 | Swagelok、VCR | ||
| ガスフロー | 最大1000sccm | ||
| 処理圧力 | 20Pa〜5000Pa | ||
| MWタイプ電源 | 最大2kW | 最大3kW | 最大3kW |
| 冷却方法 | 水冷方式、3L/min. | ||
| 寸法 | 160mm(直径)×110mm | 160mm(直径)×103mm | 160mm(直径)×90mm |
| 材質 | アルミニウム | ||
| 重さ | 8kg以下 | ||
| オプション | 低圧力応用可能 | ||
モジュラー プラズマ システム
特長
- プラズマアレイ動作範囲180mm角
- プロセスチェンバー付き
- ガス注入システム
- チェック機能付き
- 最上部に窓付き
- 床板付き
- 基板ホルダー付き
オプション
- プラズマモジュール装置追加可能
- 二重電源
- 圧力計
- ガスフローコントローラ
- ポンピングユニット
- 真空コンポーネント
- 可動式基板ホルダー
仕 様
| 外形寸法 | 430mm(高さ) ×350mm(奥行き) |
重さ | 約40kg |
|---|---|---|---|
| 内形寸法 | 400mm(高さ) ×300mm(奥行き) |
ベース圧力 | <1Pa |
| 材質 | アルミニウム | 処理圧力 | 10〜500Pa |
| マイクロ波電源 | 最大3kW×2 |
プラズマ システム
Plasma System M450
特長
- コンパクト設計
- 高速に、均一に、広範囲にプラズマを発生
- 均一に、広範囲にガスを注入
- 排気ガスが均一に分布
- 前方にローダ装備
オプション
- システムサイズをカスタマイズ可能
- 処理システム
- プラズマ検出器
- プラズマモニタ
- インラインシステム
仕 様
| 高周波電力 | 2kW×2 |
|---|---|
| 周波数 | 2.45GHz +/-10MHz |
| 処理圧力 | 20Pa〜100Pa |
| 到達圧力 | <0.5Pa |
| 冷却方法 | 水冷方式（5L/min.20℃） |
| プロセスチェンバ （内形寸法） |
深さ：350mm以下、幅：500mm以下 高さ：450mm以下、重さ：200kg以下 |