マイクロ波電源
マグネトロン電源
Sairem社では、プラズマ応用や研究・工業用途向けに設計された915MHzおよび2450MHz帯のマイクロ波電源(発生器)を 幅広く取り揃えております。
数百ワットから最大数百キロワット出力の各種電源は、ローカルまたはリモート制御で適切な周波数、出力電力等の設定が可能で、スタンドアローンのソリューションとして利用できるほか、必要に応じてマイクロ波システムを構成することも可能で、さまざまな環境で使用することができます。
周波数 2.45GHz
GMP G4 30K，GMP G4 60K，GMP G4 100Kは、産業用途とプラズマ生成向けに設計されており、 100%デジタルアーキテクチャによりスマートな電源制御を備えた信頼性の高いマイクロ波発生器です。
自動再起動機能 (ARF) や予防アラーム管理 (PAM、生産を停止せずにアラームを送信) などの複数の機能が実装されており、微小な停電の場合でもプロセスの最後まで進めることができます。
| 出力 | 型式 | ◎：CW&Pulse ○：CW | 電源入力 | |
|---|---|---|---|---|
| 3kW | GMP G4 30K | ◎ | 208V±10% 3相 400V±10% 3相 480V±10％ 3相 | |
| 6kW | GMP G4 60K | ◎ | 208V±10％ 3相 400V±10％ 3相 480V±10％ 3相 | |
| 10kW | GMP G4 100K | ◎ | 400V±10％ 3相 480V±10％ 3相 |
周波数 915MHz
GLP360KSM，GLP360KSM COMPACT，GLP540KSM，GLP720KSM，GLP100KSMは、スイッチモード電源とマグネトロンを、GLP720KI，GLP100KI は、トランス方式の電源とマグネトロンを単一キャビネットに実装した連続波マイクロ波発生器です。
PLCコントローラーを用いたマグネトロン陽極電圧、電磁場、フィラメント電流の同時制御によって、非常に低い電力設定、効率の最大化、リップル低減、マグネトロンの長寿命化が図られています。
GLP360KSM
GLP360KSM COMPACT
GLP540/750/1000KSM
GLP750/1000KI
| 出力 | 型式 | 電源方式 | 電源入力 | |
|---|---|---|---|---|
| 36kW | GLP360KSM | スイッチモード方式 | 380/415V 3相 | |
| 36kW | GLP360KSM COMPACT | スイッチモード方式 | 380/415V 3相 | |
| 54kW 75kW 100kW | GLP540KSM GLP750KSM GLP1000KSM | スイッチモード方式 | 380/415V 3相 | |
| 75kW 100kW | GLP750KI GLP1000KI | トランス方式 | 380/415V 3相 380/415V 3相 400/480V 3相 |
ソリッドステート電源/ソリッドステートモジュール
Sairem社のGMS200，GMS450，GMS1000，KMS200，KMS450およびAlaris Kuhen社のKU SG 2.45-250D，KU SG 2.45-450Aは、高安定・高出力の2450MHz帯ソリッドステートマイクロ波発生器です。
100kHzステップの周波数設定、1Wステップの電力設定が可能で、パルス出力機能や反射電力を最小にするための自動調整機能、反射電力、過熱に対する保護機能などが搭載され、ローカルまたは各種通信インターフェースを介したリモート制御・監視が可能です。
GMS200/450
KMS200/450
KU SG 2.45-250D
KU SG 2.45-450A周波数 出力 型式 ◎：CW&Pulse
○：CW電源入力 メーカー 2.45GHz 200W GMS200 ◎ 110V∼230V 単相 Sairem 450W GMS450 ○ 110V∼240V 単相 Sairem 1000W GMS1000 ○ 208V∼240V 単相 Sairem モジュール 200W KMS200 ◎ 110V∼240V 単相 Sairem 250W KU SG 2.45-250D ◎ 32VDC Kuhne 450W KMS450 ○ 110V∼240V 単相 Sairem 450W KU SG 2.45-450A ◎ 32VDC Kuhne
