プラズマ源
キャビティ型マイクロ波プラズマ源 WR430 導波管接続仕様
プラズマ源TOP APLC024-015(プラズマ噴出口Φ20mm)APLC024-141(プラズマ噴出口Φ10mm)
特 長
- キャビティ(共振器)型のプラズマ源
- 圧力範囲 300Pa~大気圧
仕 様
型式 | APLC024-015、APLC024-141 |
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用途 | 薄膜形成, エッチング, 分光解析, 殺菌処理, 親水処理 |
動作周波数 | 2450MHz |
入力電力範囲 | 300W~1kW |
圧力範囲 | 300Pa~大気圧 |
使用ガス | Ar |
冷却方式 | 水冷式 |
プラズマ噴出口 | 石英管 / アルミナ管 APLC024-015(Φ20mm)、APLC024-141(Φ10mm) |
接栓 | WR430導波管 (WR340 への変更可能) |
キャビティ型マイクロ波プラズマ源とマグネトロン電源の接続図
APLC024-015
APLC024-141 |
導波管 WR430/WR340 |
導波管型スタブチューナー
WR340 |
導波管 WR340 |
マグネトロン電源 |
キャビティ型マイクロ波プラズマ源7/16 同軸コネクタ接続仕様
プラズマ源TOP APLC024-359(プラズマ噴出口Φ10mm)特 長
- キャビティ(共振器)型プラズマ源
- 圧力範囲 300Pa~大気圧
- 同軸ケーブルで電力を供給するため取り回しが容易
仕 様
型式 | APLC024-359 |
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用途 | 薄膜形成、エッチング、分光解析、殺菌処理、親水処理 |
動作周波数 | 2450MHz |
入力電力範囲 | 100W~300W |
圧力範囲 | 300Pa~大気圧 |
使用ガス | Ar |
冷却方式 | 水冷式 |
プラズマ噴出口 | 石英管 Φ10mm |
接栓 | 7/16型コネクタ(Female) |
キャビティ型マイクロ波プラズマ源とソリッドステート/マグネトロン電源の接続図
APLC024-359
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同軸ケーブル
7/16 |
同軸型スタブチューナー 7/16 |
同軸ケーブル 7/16-Nアダプタ |
ソリッドステート電源 200W、450W |
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同軸導波管変換器 7/16-WR340 |
マグネトロン電源
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ペン型マイクロ波プラズマ源
プラズマ源TOP APLP024-005(プラズマ噴出口Φ2mm)特 長
- 石英管内径サイズが2mmで局所的な処理に有効
- 同軸ケーブルで電力を供給するため取り回しが容易で非常に使いやすく、簡易的な実験に最適なプラズマ源
仕 様
型式 | APLP024-005 |
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用途 | 表面改質、殺菌 |
動作周波数 | 2450MHz |
入力電力範囲 | 50W~100W |
圧力範囲 | 大気圧 |
使用ガス | Ar、N2 |
冷却方式 | 自然空冷式 |
プラズマ噴出口 | 石英管Φ2mm |
形状 | Φ22 x L55mm |
接栓 | N型コネクタ(Female) |
ペン型マイクロ波プラズマ源とソリッドステート電源の接続図
APLP024-005 |
同軸ケーブル N型 |
同軸型スタブチューナー N型 |
同軸ケーブル N型 |
ソリッドステート電源
GMS200W |
リエントラント型マイクロ波プラズマ源
プラズマ源TOP APLC024-348(プラズマ噴出口Φ7mm)特 長
- リエントラント(空洞共振器)型プラズマ源
- 低電力でのプラズマが可能
- 小型で真空チャンバーに取り付けが容易
- 同軸ケーブルで電力を供給するため取り回しが容易
- 圧力範囲 1Pa~大気圧
仕 様
型式 | APLC024-348 |
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用途 | 薄膜形成、エッチング、分光解析 |
動作周波数 | 2450MHz |
入力電力範囲 | 50W~100W |
圧力範囲 | 1Pa~大気圧 |
使用ガス | Ar |
冷却方式 | 自然空冷式 |
プラズマ噴出口 | 石英管Φ7mm |
接栓 | N型コネクタ(Female) |
リエントラント型マイクロ波プラズマ源とソリッドステート電源の接続図
APLC024-348 |
同軸ケーブル N型 |
同軸型スタブチューナー
N型 |
同軸ケーブル N型 |
ソリッドステート電源
200W |