プラズマ源
ペン型マイクロ波プラズマ源
プラズマ源TOP APLP024-005(プラズマ噴出口Φ2mm)特 長
- 石英管内径サイズが2mmで局所的な処理に有効
- 同軸ケーブルで電力を供給するため取り回しが容易で非常に使いやすく、簡易的な実験に最適なプラズマ源
仕 様
型式 | APLP024-005 |
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用途 | 表面改質、殺菌 |
動作周波数 | 2450MHz |
入力電力範囲 | 50W~100W |
圧力範囲 | 大気圧 |
使用ガス | Ar、N2 |
冷却方式 | 自然空冷式 |
プラズマ噴出口 | 石英管Φ2mm |
形状 | Φ22 x L55mm |
接栓 | N型コネクタ(Female) |
ペン型マイクロ波プラズマ源とソリッドステート電源の接続図
APLP024-005 |
同軸ケーブル N型 |
同軸型スタブチューナー N型 |
同軸ケーブル N型 |
ソリッドステート電源
GMS200W |