プラズマ源
ECRマイクロ波プラズマ源 AURA-WAVE
プラズマ源TOP CPSKFDN40ECR2DP AURA WAVE(PDF)
AURA-WAVEは同軸型ECRプラズマ源です。
このECRプラズマ源は電磁界解析による設計を用いることにより低圧での使用を可能とし、また自動での着火が可能です。
AURA-WAVE ECRプラズマ源は0.01Pa～1Paの圧力と数十ワットの電力でプラズマ放電が可能です。同様に、この同軸型プラズマ源は、低損失で設計され整合器を必要としません。また、ガスの圧力により反射電力が増えることもありません。プラズマ密度は、数1011cm-3以上でAr,O2,N2のガスが使用できます。
セ－ラム社製ソリッドステート電源を使用することにより1Wステップでプラズマのコントロ－ルが可能です。
ソリッドステート電源は、発振周波数を変化させることによりミスマッチングを抑え、AURA-WAVEを最適な条件で使用することができます。AURA-WAVEは広くR&Dから製造ラインにまで使用され、その用途はラジカルの生成、エッチング、PECVD、表面処理などに適しています。
特 長
マルチソ－スプラズマでは、ソリッドステ－ト電源とプラズマ源が1対1で構成されているため、各プラズマ源の入力電力を個々にコントロ－ルすることができます。このことにより、マイクロ波電力の出力がプラズマ源ごとに調整可能なため、プラズマ源間のロスを均一にすることができ、より広い表面処理が可能です。
仕 様
| 型式 | CPSKFDN40ECR2DP | |
|---|---|---|
| 使用周波数範囲 | 2400MHz-2500MHz | |
| 最大入力電力 | 200W | |
| 使用圧力 | 約0.01Pa～約1Pa | |
| プラズマ密度 使用ガス Ar-O2-N2 |
One source | 2-5 × 1010cm-3 at 160mm ～1011cm-3 at 100mm |
| Multisource | 1011cm-3 at 160mm 約1011cm-3 at 100mm | |
| 接続真空フランジ | Standard KF DN40 flange | |
| RF接続コネクタ | N型コネクタ (Female) | |
| 冷却方式 | 水冷式 0.5L/min プッシュコネクタ式 Φ6mm | |
Ar@1Pa, 8 x AURA-WAVE 160W (8 x 20W)
N2-Ar@1Pa, 8 x AURA-WAVE 800W (8 x 100W)
実装例
写真は、8個のAURA-WAVEをマウントしたリアクターです。
最大マウント数は16個で、Φ300mmのウェハーまで処理が可能です。
最大マウント数は16個で、Φ300mmのウェハーまで処理が可能です。
AURA-WAVEとソリッドステート電源の接続図
