2006真空機器・装置技術大全（電子ジャーナル社）に技術部の原稿が掲載されています

2006真空機器・装置技術大全（電子ジャーナル社）に技術部の原稿「大気圧マイクロ波プラズマ装置」（P209〜211）、「電子・イオンビーム源/電子銃」（P400〜402）、「電子・イオンビーム・プラズマ解析ソフトウェア」（P409〜411）が掲載されています。

内容

「大気圧マイクロ波プラズマ装置」
●マイクロ波プラズマの特徴　
●大気圧プラズマの応用

●チューナが不要なマイクロ波プラズマ

●小型マイクロ波プラズマ装置

「電子・イオンビーム源/電子銃」
●含浸型陰極　
●固体イオン源

●高周波電子銃

「電子・イオンビーム・プラズマ解析ソフトウェア」
●PARTICLE STUDIOによる荷電粒子軌道解析　
●EGUNによる電子銃・イオン源解析

●IGUN/nIGUNによるプラズマイオン源解析

●LSPによる大規模プラズマ解析