電子銃・イオン源・ヒーター

ヒートウェーブ社（HeatWave Labs, Inc. ）の電子銃は、主に含浸型タングステンを用いたカソードを使用して、電流密度が非常に高くエミッタンスの低い、良質の電子ビームを発生させます。

日清紡マイクロデバイス株式会社の電子銃は、実績あるマイクロ波管や医療用電子加速器の電子銃技術を駆使しています。

ディスペンサー型（含浸型）やLaB₆などのさまざまなカソードをご用意しております。ご要望に沿った形状やサイズ、マウントでの製作が可能です。

多こう質タングステンの中に各種イオンを含浸し、フィラメントを通して加熱し、負の電場をかけ、イオンを取り出します。

高真空中や反応性ガス環境で使用可能な高熱基板ヒーターを提供しております。ボタンタイプから大口径のヒーターまでご用意しており、カスタムも可能です。

制御された電子電流を正確にプラズマ環境に流すことができます。