マイクロ波プラズマ

キャビティ型マイク波プラズマ源⁄  リエントラント型マイクロ波プラズマ源⁄  ECRプラズマ源⁄  PECVDプラズマ源⁄  シングルモード型マイクロ波プラズマ源

915MHz/2.45GHz/5.8GHz
チューニング システム ⁄  アイソレータ ⁄  スタブチューナ ⁄  真空ウインドウ ⁄  同軸アダプタ ⁄  同軸導波管変換器 ⁄  結合器 ⁄  サーベイメーター ⁄  検出器 ⁄