マイクロ波発生器

Alaris Kuhne社のKU SG 2.45-25B，KU SG 2.45-250D，DKU SG 2.45-450Aは、マイクロ波加熱、プラズマ発生、医療用途、表面処理、材料処理など、様々な用途に使用可能な高安定・高出力の2450MHz帯ソリッドステートマイクロ波発生器です。
リモートコントロールにて適切な周波数、出力電力、パルス動作モード設定が可能です。また、多数の保護回路と監視機能によって運転の安全性を確保しています。

Alaris Kuhne 公式サイト：MICROWAVE GENERATOR
https://kuhne.alaris.tech/store

特　長

周波数安定度に優れ、100 kHzまたは10 kHz単位で調整可能
出力電力安定性に優れ、0W～最大出力まで1W単位で調整可能
周波数スイープ機能
パルス出力機能（パルス幅，デューティサイクル調整可）
反射電力が最小となる周波数を見つけるアルゴリズム搭載
高いVSWR(反射電力)に対する保護用アイソレータ搭載
トランジスタ温度の監視と保護（トランジスタ温度上昇時のスイッチオフ）
出力電力と反射電力の監視
過電圧および低電圧の警告と保護

用　途

マイクロ波加熱
プラズマ生成
電磁波伝搬試験，EMC試験など

仕　様

【アクセサリ】

Model No.	KU SG 2.45-25B	KU SG 2.45-250D	KU SG 2.45-450A
周波数範囲	2400∼2500MHz (100kHz または 10kHz ステップ可変)*1
周波数安定度	±3ppm
出力電力範囲	0∼25W (0.1W ステップ可変)	0∼25W (1W ステップ可変)	0∼450W*2 (1W ステップ可変)
出力電力確度	±0.2dB max.
動作モード	連続波／パルス
パルス繰返し	99999∼6µS (≒10Hz∼≒166.7kHz)
パルス幅	1∼99998µS (1～24µS ALCなし)
保護機能	反射電力，過熱，過電圧，低電圧，過電流
出力インターフェース	N型コネクタメス，50オーム
制御インターフェース	リモートインターフェース (3.3V UART)　　アナログ (0∼10V)
供給電源	32V DC，3.5A max. (@ 25W)	32V DC，18A max. (@ 250W)	32V DC，26A typ. (@ 450W)
寸法／質量	147 x 111 x 25mm／750g	147 x 111 x 25mm／900g	180 x 65 x 40mm／1500g
冷却方式	強制空冷	強制空冷または水冷
動作ケース温度範囲	-20 ∼ +60℃
ブロックダイヤグラム
カタログ	KU SG 2.45-25B (PDF)	KU SG 2.45-250D (PDF)	KU SG 2.45-450A (PDF)
電源	HRPG-600-36		RACM120036SAVENC
空冷ヒートシンク	KU HS LA10-150-KIT		SK 200-160
水冷コールドプレート	WK 25-17K		WK 18-07

*1　100kHz (標準)／10kHz (オプション)
*2　オプションにて、KU SG 2.45-450A 2台の電力合成が可能
※ 仕様詳細、外形図、特徴、用途等につきましては Alaris Kuhne 社 WEBサイトの　RF Sources_Microwave Power Generators 　および添付カタログをご覧下さい。

電力合成器


Model No.	KU DIV 2.45-N-716
周波数範囲	2400∼2500MHz (1MHz ステップ可変)	マイクロ波発生器 KU SG 2.45－450 A 2台合成時の仕様を示す
周波数安定度	±3ppm
出力電力範囲	0∼800W (2W ステップ可変)
出力電力確度	±0.4dB max.
動作モード	連続波
入力インターフェース	N型コネクタメス，50オーム
出力インターフェース	7/16コネクタメス，50オーム
制御インターフェース	シリアルインターフェース (3.3V UART)
供給電源	10∼36V DC，100mA max.
寸法／質量	110 x 110 x 44mm／1150g
動作ケース温度範囲	-20 ∼ +60℃
カタログ	KU_DIV_2.45-N-716 (PDF)

*1 KU DIV 2.45-N-716は、KU SG 2.45－450 A 2台の出力を合成するための電力合成器です。
*2ラベルに従ってマスターとスレーブジェネレータをSMA同軸ケーブルでコンバイナに接続し、通信のためにコンバイナのインターフェイスコネクタ (I2C バス)を2 つのジェネレータに接続する必要があります。

ソリッドステートマイクロ波電源

Saurem社のGMS200，GMS450，GMS1000は、高安定・高出力の2450MHz帯ソリッドステートマイクロ波電源です。
100kHzステップの周波数設定、1Wステップの電力設定が可能で、パルス出力機能や反射電力を最小にするための自動調整機能、反射電力、過熱に対する保護機能などが搭載されています。
また、フロントパネルでのローカル制御・監視とModbus RS232，RS485/RS422，Ethernet，Profibus，CANopenなどを使用したリモート制御・監視およびアナログ信号による制御・監視が可能です。
このマイクロ波発生器は科学・産業用途向けに設計されており、1台または複数のMWアプリケータと共に使用され、小さな設置スペースで高い信頼性を確保しています。

SAIREM公式サイト：産業用ソリッドステートマイクロ波発生器
https://www.sairem.com/ja/industrial-solid-state-microwave-generators/

特　長

周波数安定度に優れ、100kHzステップの周波数可変が可能
低出力でも良好な周波数スペクトルが得られ、1Wステップの電力可変が可能
オールソリッドステートで、小型軽量、長寿命
電子管デバイスを使用しないので、高電圧部がなく安全で保守が容易
出力および反射電力のモニタが可能
反射電力を最小化するための周波数自動制御機能(SAIREM 自動調整アルゴリズム)搭載
反射電力、過熱に対する保護機能を内蔵
フロントパネル操作によるローカル制御および各種通信インターフェースによるリモート制御が可能

用　途

プラズマ応用 ：
ラジカル生成，除菌，ALD(原子層堆積法)による成膜，医療，大規模な表面処理など
研究用途：
化学応用，生物化学，乾燥，加熱，焼結，熔解など

仕　様


形式	GMS200WSM／ GMS200WIP　*1	GMS450WSM	GMS1000SM
周波数範囲	2400∼2500MHz (100kHz ステップ)
出力電力範囲	0∼200W (1W ステップ)	0∼450W (1W ステップ)	0∼1000W (1W ステップ) 　@2450MHz 0∼900W (1W ステップ) 　@2400∼2500MHz
出力リップル	< 0.2％ RMS	< 0.4％ RMS	< 1％ RMS
動作モード	連続波(SM)／パルス(IP)	連続波
パルス繰返し*1	0.2∼5000Hz	―
デューティサイクル*1	1∼99% (0.2∼100Hz) 10∼99% (101∼1000Hz) 50∼99% (1001∼5000Hz)	―
保護機能	反射電力，過熱
出力インターフェース	N型コネクタメス， 50オーム	7/16コネクタメス， 50オーム	WR340
制御インターフェース	ローカルインターフェース2 リモートインターフェース3 アナログ (M12コネクタ)*6	ローカルインターフェース2 リモートインターフェース4 アナログ (M12コネクタ)*6	― リモートインターフェース5 アナログ (M12コネクタ)7
供給電源	1Φ, 110∼230Vac±10%, 50/60Hz 690VA at 200W	1Φ, 110∼240Vac, 50/60Hz 1.2kVA max. at 450W	1Φ, 208∼240Vac, 50/60Hz 2.5kW max.
寸法 (WxDxH)	483 x 446 x 132.5mm	483 x 326 x 132.5mm	259 x 421 x 290mm
重量	11.8kg	12kg	25kg
冷却方式	強制空冷	水冷 (2L/min,@1.5bar,17∼22℃)	水冷 (4L/min,,16∼25℃)
動作周囲温度	5∼35℃		15∼40℃
カタログ	GMS200 (PDF)	GMS450 (PDF)	GMS1000 (PDF)

*1　SM：連続波出力／IP (INTERNAL PULS Version)：連続波出力とパルス出力が可能
*2　グラフィカルLCDスクリーン、3 つのプッシュボタンおよびメニューナビゲーションと電源制御用のノブで構成され、
　　すべての動作パラメータ、制御ステータス、および想定される障害、進行電力と反射電力が表示される
*3　Modbus on RS232 (MS)またはModbus RS485/RS422 (MM)またはProfibus (PB)またはCANopen (CA)より選択
*4　Modbus RTU RS232 (標準)またはRS485またはEthernetまたはProfibusまたはCANopenより選択
*5　Modbus RS232またはEthernetまたはProfibusより選択，PCで制御するLabVIEW™ベースのHMIが付属
*6　順方向電力制御用のアナログ入力設定と順方向および反射電力モニタのアナログ出力
*7　順方向電力制御用のアナログ入力設定 (0-10V入力 ⇒ 0-1000W出力)
※ 仕様詳細、外形図、特徴、用途等につきましては添付カタログをご覧下さい。

ソリッドステートマイクロ波電源サブシステム

Sairem社のKMS200，KMS450は、システムに組み込み可能な高安定・高出力の2450MHz帯ソリッドステートマイクロ波電源サブシステムです。
100kHzステップの周波数設定、1Wステップの電力設定が可能で、パルス出力機能や反射電力を最小にするための自動調整機能、反射電力、過熱に対する保護機能などが搭載されています。
また、Modbus RS232を介したLabVIEW®による制御や、CANopenを使用した産業用PLCによる制御が可能です。
このマイクロ波電源サブシステムは科学・産業用途向けに設計されており、1台または複数のMWアプリケータと共に使用され、小さな設置スペースで高い信頼性を確保しています。

SAIREM公式サイト：工業用固体マイクロ波発電機
https://www.sairem.com/ja/industrial-solid-state-microwave-generators/

特　長

周波数安定度に優れ、100kHzステップの周波数可変が可能
低出力でも良好な周波数スペクトルが得られ、1Wステップの電力可変が可能
オールソリッドステートで、小型軽量、長寿命
電子管デバイスを使用しないので、高電圧部がなく安全で保守が容易
出力および反射電力のモニタが可能
反射電力を最小化するための周波数自動制御機能(SAIREM 自動調整アルゴリズム)搭載
反射電力、過熱に対する保護機能を内蔵
Modbus RS232またはCANopenインターフェイスによるリモート制御が可能

用　途

プラズマ応用 ：
ラジカル生成，除菌，ALD(原子層堆積法)による成膜，医療(慢性創傷の治療)，樹脂開封（半導体プロセス)，元素分析、大規模な表面処理など
医療用途：
マイクロ波加熱による腫瘍アブレーション

仕　様


形式	KMS200AIR／KMS200IP*1	KMS450
周波数範囲	2400∼2500MHz (100kHz ステップ)
出力電力範囲	0∼200W (1W ステップ)	0∼450W (1W ステップ)
出力リップル	< 0.2％ RMS	< 0.4％ RMS
動作モード	連続波(SM)／パルス(IP)	連続波
パルス繰返し*1	0.2∼5000Hz	―
デューティサイクル*1	1∼99% (0.2∼100Hz) 10∼99% (101∼1000Hz) 50∼99% (1001∼5000Hz)	―
保護機能	反射電力，過熱
出力インターフェース	N型コネクタメス，50オーム
制御インターフェース	リモートインターフェース　　Modbus RS232*2 または CANopen
供給電源	1Φ, 110Vac(5A)∼240Vac (2.5A)，50/60Hz	1Φ, 110Vac(11A)∼240Vac (5.5A)，50/60Hz
寸法 (WxDxH)	381x 145 x 182mm	388 x 180 x 103mm
重量	7.5kg	7.05kg
冷却方式	強制空冷	水冷(2L/min,@1.5bar,17∼22℃)
動作周囲温度	18∼35℃	5∼35℃
カタログ	KMS200 (PDF)	KMS450 (PDF)

*1　KMS200AIR：連続波出力／KMS200IP (INTERNAL PULS Version)：連続波出力とパルス出力が可能
*2　すべての動作パラメータと制御ステータス用の LabVIEW™ ソフトウェアが提供されます (ライセンスは不要)
※ 仕様詳細、外形図、特徴、用途等につきましては添付カタログをご覧下さい。

マイクロ波発生器