PCB両面用プローブステーションシステム
AGPS710-001
構成品一覧
PCB両面用プローブステーションのシステム構成品は、自由な組み合わせによりユーザー仕様に合わせてカスタマイズが可能です。また、構成品単体でのご購入も可能です。
各構成品の詳細な仕様に関しては詳細ページをご覧いただくか、弊社までお問合せください。
| 標準セット | PCB両面用プローブステーション |
|---|---|
| 真空ペンと真空ポンプ | |
| オプション | 高周波プローブlZl-Probe（フォームファクター社製） |
| 防振台（卓上タイプ・デスクタイプ） |
特 長
- プローブ移動が自在に
- ツマミを動かすとY軸ステージがスライド。ポジショナーを取り外すことなく、裏側・表裏測定の時にプローブを反転させる機構です。
- CAL用基板回転機構
- プローブ表裏校正のためのCAL基板取り付けプレートが180度表裏回転する機構が備わっています。
- プローブ角度が自由自在
- AET独自の可動回転式プローブ取付金具の採用により、プローブ先端の位置を変えずに角度を調整することができます。また、有効測定サイズは200mm×100mmを実現しました。最大446mm×200mmの基板を固定できます。
仕 様
型式：AGPS710-001
[ ワークステージ ] ステージ固定台：同一スライドガイド上の左右に各1個
| 被測定物最大寸法 | 公称寸法：長さ220mm × 高さ100mm × 厚さ2mm 最大取り付け寸法：長さ446mm × 高さ200mm 測定範囲：長さ200mm × 高さ100mm |
|---|
[ マイクロポジショナー ]
| X軸（測定物に平行移動） | [微動]最小読取：10μm 駆動方式：マイクロメータ 移動範囲：±6.5mm [粗動]ステージ移動 |
|---|---|
| Y軸（測定物に直角移動） | [微動]最小読取：10μm 駆動方式：マイクロメータ 移動範囲：±6.5mm [粗動]最小読取：バーニア1目盛0.1mm 駆動方式：ラック＆ピニオン 移動範囲：±50mm (粗動ツマミ1回転の移動量：18mm 微動ツマミ1回転の移動量:2.3mm) |
| Z軸（測定物に上下移動） | [微動]最小読取：10μm 駆動方式：マイクロメータ 移動範囲：±6.5mm [粗動]最小読取：バーニア1目盛0.1mm 駆動方式：ラック＆ピニオン 移動範囲：±50mm (粗動ツマミ1回転の移動量：18mm 微動ツマミ1回転の移動量:2.3mm) |
| 固定方式 | ON⁄OFFマグネット方式 |
[ レールガイド ]
| 取付方向 | 測定方向により、反転して用いる 駆動方式：ウォーム歯車 ⁄ アリ溝摺動 |
|---|---|
| プローブ回転移動角 | 0～90度で任意の位置で固定可能 (0度=水平方向90度=垂直方向)3.2度 ⁄ 回転 |
| プローブ回転微調角 | ±5度 0.16度 ⁄ 回転 |
| プローブあおり角 | ±5度（被測定物面とプローブ針との平行度調整角度） 1.9度 ⁄ 回転 |
[ マイクロスコープポジショナー ]
| 最小読取 ⁄ 駆動方式 | 移動範囲 | ||
|---|---|---|---|
| 軸 | X軸 | バーニア1目盛0.1mm ラック & ピニオン | ±20mm |
| Y軸 | ±20mm | ||
| Z軸 | ±50mm | ||
| ステージ固定方法 | ON ⁄ OFFマグネット方式 | ||
[ ズームマイクロスコープ ]
| 光学倍率 | 0.65ｘ～5.2ｘ |
|---|---|
| 15″モニター倍率 | 1⁄3″CCDカメラ使用時：31x～246x 41x0.75=30.75, 328x0.75=246 |
| 作動距離(WD) | 50mm±5mm |
[ ライトガイド ]
| 光源 | LED光 |
|---|---|
| 同軸照射方式 | グラスファイバーリング |
[ その他 ]
| CCDカメラ | 1⁄3型インターライン転送CCD固体撮像素子 |
|---|---|
| LED光源電源電圧 | DC5V |
[ 真空吸引 ]
| 真空ポンプ（別置き） | 到達真空度：-33.3kPa{-250mmHg} 吐出空気量：5l/min 定格電圧：AC100V(50/60Hz) 消費電力：15/14W 電流：0.35/0.3A 定格時間：連続 |
|---|---|
| 真空吸引ペン | パッド径：φ6mm 吸引できる重さ：最大94g |
[ PCB両面用プローブステーション 本体サイズ ]
| 寸法 | 650mm(幅)×480mm(奥行)×312mm±50mm(ベース面からの高さ） | |
|---|---|---|
| 重量 | 43kg | |
- CCDカメラポジショナー
- 標準数量：2
オプションで4個まで取付可能
- マイクロポジショナー
- 高周波プローブ |Z|Probe に対応
標準数量：2
オプションで4個まで取付可能
- 別置き真空ポンプ
- 標準数量：1
- 真空ペン
- 標準数量：1
オプション構成品
防振台 卓上タイプ
特 長
- 1次元/3次元の防振性
1次元方式の防振方向性は垂直方向（Z)のみ、3次元方式の防振方向性は水平2方向（X/Y)と垂直（Z)の3方向です。 - 3ヶ所の給排気弁
ハンドエアーポンプでエアーを供給した後、搭載盤前面の3ヶ所の給排気弁でエアーを調節し、搭載盤を最適な高さまで浮上させます。また、同様に水平レベルも簡単に調節できます。
仕 様
| 型式 | ABSDT0607-1D (1次元タイプ） | ABSDT0607-3D (3次元タイプ） |
|---|---|---|
| 固有振動数 | Z方向 1.5～3.0Hz | XY2方向 1.0～2.0Hz Z方向 1.5～3.0Hz |
| 防振方式 | 一次元空気バネ | 三次元空気バネ |
| 制振方式 | オリフィスによる | |
| エアー供給方式 | 手動式エアーポンプ | |
| 水平維持 | 3ケ所の給排気弁による手動調整 | |
| 搭載盤の上面 （1か2を選択） | 1 ロンリュウム貼り*(着磁不可） 2 ステンレス鋼板(着磁性） |
|
| 搭載盤処理 | ハイダンピング処理 （有無を選択） | ハイダンピング処理 (標準） |
| 本体枠処理 | ハイダンピング処理 （有無を選択） | ハイダンピング処理 (標準） |
| 搭載可能重量 | 70kg | |
| 本体脚部 | ゴム製 | 高剛性インシュレータ |
| 付属品 | ハンドエアーポンプ1本 | |
*ロンリュウム・・・塩化ビニールを主材としており着磁不可。搭載盤上の機器の滑り止め効果有。
防振台 デスクタイプ
特 長
- 1次元/3次元の防振性
1次元方式の防振方向性は垂直方向（Z)のみ、3次元方式の防振方向性は水平2方向（X/Y)と垂直（Z)の3方向です。 - 3ヶ所の給排気弁
マニュアル式：ハンドエアーポンプでエアーを供給した後、3ケ所の給排気弁でエアーを調節し、搭載盤を最適な高さまで浮上させます。同様に水平レベルも簡単に調節できます。 オート式：外部空気源からエアーを供給し、オートレベルセンサー（3ケ所）で自動排気し、搭載盤の高さと水平レベルを調節します。
仕 様
| 型式 | ABSDSK0607-1D (1次元タイプ） | ABSDSK0607-3D (3次元タイプ） |
|---|---|---|
| 固有振動数 | Z方向 1.0～2.0Hz | XYZ3方向 1.0～2.0Hz |
| 防振方式 | 一次元空気バネ | 三次元空気バネ |
| 制振方式 | オリフィスおよびユニバーサルシステム＊による | |
| エアー供給方式 （1か2を選択） | 1 マニュアル式：手動式エアーポンプによる 2 オート式：エアーコンプレッサ、 工場エアーなど(圧力は0.3～最大0.5MPa必要） | |
| 水平維持 （1か2を選択） | 1 マニュアル式： 3ケ所の給排気弁による手動調整 2 オート式： 集中排気型オートレベルセンサーによる自動排気 （クリーンルームでの設置も可能。） | |
| 搭載盤の上面 仕上げ/加工 | ステンレス鋼板（着磁性）SUS-410・5ｔ無塗装/無加工 | |
| 搭載盤の材質および構造 | 高密度スチールハニカムベンチ | |
| 搭載盤の寸法 | 800mm（幅）×600mm（奥行き） | |
| 搭載可能重量 | 130kg | |
| 本体寸法 | 860mm（幅）×710mm（奥行き）×650mm(高さ） | |
| 本体重量 | 120kg | |
| 付属品 | ハンドエアーポンプ1本 | |
*ユニバーサルシステムとは球面に稼動する二重振り子の原理を応用した制振方式です。