PCB両面用プローブステーションシステム

AGPS710-001

構成品一覧

PCB両面用プローブステーションのシステム構成品は、自由な組み合わせによりユーザー仕様に合わせてカスタマイズが可能です。また、構成品単体でのご購入も可能です。
各構成品の詳細な仕様に関しては詳細ページをご覧いただくか、弊社までお問合せください。

標準セット	PCB両面用プローブステーション
	真空ペンと真空ポンプ
オプション	高周波プローブlZl-Probe（フォームファクター社製）

特　長

プローブ移動が自在に

ツマミを動かすとY軸ステージがスライド。ポジショナーを取り外すことなく、裏側・表裏測定の時にプローブを反転させる機構です。

CAL用基板回転機構

プローブ表裏校正のためのCAL基板取り付けプレートが180度表裏回転する機構が備わっています。

プローブ角度が自由自在

AET独自の可動回転式プローブ取付金具の採用により、プローブ先端の位置を変えずに角度を調整することができます。また、有効測定サイズは200mm×100mmを実現しました。最大446mm×200mmの基板を固定できます。

仕　様

型式：AGPS710-001

[ ワークステージ ]  ステージ固定台：同一スライドガイド上の左右に各1個

被測定物最大寸法	公称寸法：長さ220mm × 高さ100mm × 厚さ2mm 最大取り付け寸法：長さ446mm × 高さ200mm 測定範囲：長さ200mm × 高さ100mm

[ マイクロポジショナー ]

X軸（測定物に平行移動）	[微動]最小読取：10μm　駆動方式：マイクロメータ　移動範囲：±6.5mm [粗動]ステージ移動
Y軸（測定物に直角移動）	[微動]最小読取：10μm　駆動方式：マイクロメータ　移動範囲：±6.5mm [粗動]最小読取：バーニア1目盛0.1mm　駆動方式：ラック＆ピニオン　移動範囲：±50mm (粗動ツマミ1回転の移動量：18mm　微動ツマミ1回転の移動量:2.3mm)
Z軸（測定物に上下移動）	[微動]最小読取：10μm　駆動方式：マイクロメータ　移動範囲：±6.5mm [粗動]最小読取：バーニア1目盛0.1mm　駆動方式：ラック＆ピニオン　移動範囲：±50mm (粗動ツマミ1回転の移動量：18mm　微動ツマミ1回転の移動量:2.3mm)
固定方式	ON⁄OFFマグネット方式

[ レールガイド ]

取付方向	測定方向により、反転して用いる 駆動方式：ウォーム歯車 ⁄ アリ溝摺動
プローブ回転移動角	0～90度で任意の位置で固定可能 (0度=水平方向90度=垂直方向)3.2度 ⁄ 回転
プローブ回転微調角	±5度　0.16度 ⁄ 回転
プローブあおり角	±5度（被測定物面とプローブ針との平行度調整角度） 1.9度 ⁄ 回転

[ マイクロスコープポジショナー ]

		最小読取 ⁄ 駆動方式	移動範囲
軸	X軸	バーニア1目盛0.1mm ラック & ピニオン	±20mm
	Y軸		±20mm
	Z軸		±50mm
ステージ固定方法		ON ⁄ OFFマグネット方式

[ ズームマイクロスコープ ]

光学倍率	0.65ｘ～5.2ｘ
15″モニター倍率	1⁄3″CCDカメラ使用時：31x～246x 41x0.75=30.75,　328x0.75=246
作動距離(WD)	50mm±5mm

[ ライトガイド ]

光源	LED光
同軸照射方式	グラスファイバーリング

[ その他 ]

CCDカメラ	1⁄3型インターライン転送CCD固体撮像素子
LED光源電源電圧	DC5V

[ 真空吸引 ]

真空ポンプ（別置き）	到達真空度：-33.3kPa{-250mmHg}　吐出空気量：5l/min 定格電圧：AC100V(50/60Hz)　消費電力：15/14W　電流：0.35/0.3A 　 定格時間：連続
真空吸引ペン	パッド径：φ6mm　吸引できる重さ：最大94g

[ PCB両面用プローブステーション　本体サイズ ]

寸法	650mm(幅)×480mm(奥行)×312mm±50mm(ベース面からの高さ）
重量	43kg

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