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プローブステーションシステム

AGPS501-002

プローブステーションシステム

構成品一覧

プローブステーションのシステム構成品は、自由な組み合わせによりユーザー仕様に合わせてカスタマイズが可能です。また、構成品単体でのご購入も可能です。
各構成品の詳細な仕様に関しては詳細ページをご覧いただくか、弊社までお問合せください。

標準セットプローブステーション
真空ペンと真空ポンプ
オプション高周波プローブ lZl Probe（フォームファクター社製）
防振台（卓上タイプ・デスクタイプ）

仕　様

型式：AGPS501-002

周波数 プローブ仕様による

[プロービングステージ]

測定テーブル 可動（粗調整）
　X：固定 Y：125mm（スライド式） Z：アップダウン式
可動（微調整）
　Z：±6.5mm（目量10μm）　θ：±5°
測定テーブルサイズ：最大255mm x 100mm
測定サンプルサイズ：190mm x 100mmまで

[マイクロポジショナー]

ポジショナー可動（微調整）　X：±6.5mm　Y：±6.5mm　Z：±6.5mm　（目量10μm）　θ：±3°
ポジショナーテーブル可動　X：105mm　Y：52.5mm （2.5mm毎ラチェット固定）　Z：固定

[プローブ]

種類エアーコプレーナプローブ、セミリジットプローブ、差動アクティブプローブ

[実体顕微鏡]

オリンパス製 倍率： 0.67～4.5X　ズーム比： 6.7 作動距離： 110mm　接眼レンズ： WHSZ10 x -H

[真空吸引]

真空ポンプ
（別置き）		 到達真空度：-33.3kPa{-250mmHg}
吐出空気量：5l/min　 定格電圧：AC100V(50/60Hz)　消費電力：15/14W　電流：0.35/0.3A　 定格時間：連続
真空吸引ペン パッド径：φ6mm　吸引できる重さ：最大94g

[プローブステーション　本体サイズ]

寸法と重量 600mm（幅） x 400mm（奥行） x 550mm（高） 　27kg

  • 真空ポンプ

  • 真空ペン

オプション構成品

防振台 卓上タイプ

  • 防振台 卓上タイプ

特　長

  • 1次元/3次元の防振性
    1次元方式の防振方向性は垂直方向（Z)のみ、3次元方式の防振方向性は水平2方向（X/Y)と垂直（Z)の3方向です。
  • 3ヶ所の給排気弁
    ハンドエアーポンプでエアーを供給した後、搭載盤前面の3ヶ所の給排気弁でエアーを調節し、搭載盤を最適な高さまで浮上させます。また、同様に水平レベルも簡単に調節できます。

仕　様

型式ABSDT0607-1D
(1次元タイプ）		ABSDT0607-3D
(3次元タイプ）
固有振動数Z方向 1.5～3.0HzXY2方向 1.0～2.0Hz  Z方向 1.5～3.0Hz
防振方式一次元空気バネ三次元空気バネ
制振方式オリフィスによる
エアー供給方式手動式エアーポンプ
水平維持3ケ所の給排気弁による手動調整
搭載盤の上面
（1か2を選択）		 1　ロンリュウム貼り*(着磁不可）
2　ステンレス鋼板(着磁性）
搭載盤処理ハイダンピング処理
（有無を選択）		ハイダンピング処理
(標準）
本体枠処理ハイダンピング処理
（有無を選択）		ハイダンピング処理
(標準）
搭載可能重量70kg
本体脚部ゴム製高剛性インシュレータ
付属品 ハンドエアーポンプ1本　

*ロンリュウム・・・塩化ビニールを主材としており着磁不可。搭載盤上の機器の滑り止め効果有。

防振台　デスクタイプ

  • 防振台　デスクタイプ

特　長

  • 1次元/3次元の防振性
    1次元方式の防振方向性は垂直方向（Z)のみ、3次元方式の防振方向性は水平2方向（X/Y)と垂直（Z)の3方向です。
  • 3ヶ所の給排気弁
    マニュアル式：ハンドエアーポンプでエアーを供給した後、3ケ所の給排気弁でエアーを調節し、搭載盤を最適な高さまで浮上させます。同様に水平レベルも簡単に調節できます。 オート式：外部空気源からエアーを供給し、オートレベルセンサー（3ケ所）で自動排気し、搭載盤の高さと水平レベルを調節します。

仕　様

型式ABSDSK0607-1D
(1次元タイプ）		ABSDSK0607-3D
(3次元タイプ）
固有振動数Z方向 1.0～2.0HzXYZ3方向 1.0～2.0Hz
防振方式一次元空気バネ三次元空気バネ
制振方式オリフィスおよびユニバーサルシステム＊による
エアー供給方式
（1か2を選択）		 1 マニュアル式：手動式エアーポンプによる
2 オート式：エアーコンプレッサ、 工場エアーなど(圧力は0.3～最大0.5MPa必要）
水平維持
（1か2を選択）		1 マニュアル式：　3ケ所の給排気弁による手動調整
2 オート式：　集中排気型オートレベルセンサーによる自動排気
（クリーンルームでの設置も可能。）
搭載盤の上面
仕上げ/加工		ステンレス鋼板（着磁性）SUS-410・5ｔ無塗装/無加工
搭載盤の材質および構造高密度スチールハニカムベンチ
搭載盤の寸法800mm（幅）×600mm（奥行き）
搭載可能重量130kg
本体寸法860mm（幅）×710mm（奥行き）×650mm(高さ）
本体重量120kg
付属品ハンドエアーポンプ1本

*ユニバーサルシステムとは球面に稼動する二重振り子の原理を応用した制振方式です。

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