ホローカソードプラズマ源
ヒート ウェーブ社（HeatWave Labs, Inc.）の高電流ホローカソードプラズマ源は、制御された電子電流を正確にプラズマ環境に流すことができます。簡単スタート(高圧ではない)、安定した出力、連続した可変放出電流、低ガスフロー条件、低動作温度、長寿命などの特徴を持ち、いかなるメタル汚染物質にも出力します。
※HeatWave Labs, Inc. http://www.cathode.com
ヒートウェーブ社（米国）は、電子銃、カソード、イオン源、ヒーターなどの製造メーカーです。
ヒートウェーブ社（米国）は、電子銃、カソード、イオン源、ヒーターなどの製造メーカーです。
HWPES-250 ホローカソードプラズマ源
- イオンビーム中和
- 表面電荷制御
- 電子フィラメント交換
- マグネトロン放電とダイオード放電で電子を増強
- アーク放電発生器
| プラズマ電流 | 0～10A(持続) 連続的可変 |
|---|---|
| イオン電流 | 0.5～1mA |
| 動作ガス | 希ガスと水素ガス |
| 電子エネルギー | 1.0eV以下は結合電圧で増量 |
| 動作ガスフロー | 2～5A/Sccm(Ar) 3～7A/Sccm(Xe) |
| 最小バックグラウンドP | UHV |
| 最大バックグラウンドP | mTorr |
| 寿命 | 不活性ガスのバックグラウンドで1000時間以上 |
| 反応性ガスの影響 | 寿命の低下、バックグラウンド圧力の低下 |
| 取付けオプション | UHV、2.75CF HV、KF40 |
| 構造 | 溶接メタリック |
| 電源 | 90～250VAC(自動選択)50/60Hz、単相 |
仕 様
| プラズマ電流 | 0～10A(持続) 連続的可変 |
|---|---|
| イオン電流 | 0.5～1mA |
| 動作ガス | 希ガスと水素ガス |
| 電子エネルギー | 1.0eV以下は結合電圧で増量 |
| 動作ガスフロー | 2～5A/Sccm(Ar) 3～7A/Sccm(Xe) |
| 最小バックグラウンドP | UHV |
| 最大バックグラウンドP | mTorr |
| 寿命 | 不活性ガスのバックグラウンドで1000時間以上 |
| 反応性ガスの影響 | 寿命の低下、バックグラウンド圧力の低下 |
| 取付けオプション | UHV、2.75CF HV、KF40 |
| 構造 | 溶接メタリック |
| 電源 | 90～250VAC(自動選択)50/60Hz、単相 |