プラズマ源
シングルモ－ド型マイクロ波プラズマ源
プラズマ源TOP DOWNSTREAM WR340 DOWNSTREAM WR340(PDF)特 長
- WR340導波管を使用したシングルモ－ド型プラズマ源
- プラズマ噴出口：Φ30-Φ50mm
- 圧力範囲 1Pa～大気圧
仕 様
| 型式 | DOWNSTREAM WR340 |
|---|---|
| 用途 | 薄膜形成、ラジカル/反応種の生成 |
| 動作周波数 | 2450MHz |
| 入力電力範囲 | 最大10kW |
| 圧力範囲 | 1Pa～大気圧 |
| 使用ガス | Ar、N2、O2、air |
| 冷却方式 | 水冷式 |
| プラズマ噴出口 | 石英管/アルミナ管 Φ30mm、Φ40mm、Φ50mm |
| 接栓 | WR340導波管 |
DOWNSTREAM WR340とマグネトロン電源の接続図
|
ショートプランジャー
WR340 
|
DOWNSTREAM
 |
導波管型スタブチューナー
WR340 
|
マグネトロン電源
|
SURFAGUIDE PLASMA SOURCE
SURFAGUIDE WR340(PDF)
特 長
- WR340導波管を使用したシングルモ－ド型プラズマ源
- プラズマ放電箇部の導波管を薄くすることにより、電界強度が上がりプラズマの着火が容易
- 圧力範囲 1Pa～大気圧
仕 様
| 型式 | SURFAGUIDE PLASMA SOURCE |
|---|---|
| 用途 | 薄膜形成、ラジカル/反応種の生成、有害物質分解ガス化、殺菌、粉末の合成 |
| 動作周波数 | 2450MHz |
| 入力電力範囲 | 230W～6kW |
| 圧力範囲 | 1Pa～大気圧 |
| 使用ガス | Ar、N2、O2、air |
| 冷却方式 | 水冷式 |
| プラズマ噴出口 | 石英管/アルミナ管 Φ10mm、Φ15mm、Φ20mm |
| 接栓 | WR340導波管 |
SURFAGUID PLASMA SOURCEとマグネトロン電源の接続図
|
ショートプランジャー
WR340
|
SURFAGUIDE
 |
導波管型スタブチューナー
WR340
|
マグネトロン電源
|