マイクロ波電源

マイクロ波電源 (マグネトロン）

Sairem社では、プラズマ応用や研究・工業用途向けに設計された915MHzおよび2450MHz帯のマイクロ波電源(発生器)を幅広く取り揃えております。
数百Wから数百kW出力の各種電源は、ローカルまたはリモート制御による周波数、出力電力設定が可能で、スタンドアローンでの利用ができるほか、必要に応じてマイクロ波システムを構成することも可能で、さまざまな環境で使用することができます。
優れた安定性を備えた電源の信頼性は、世界中の多くのOEMや研究所で認められ、高く評価されています。

SAIREM公式サイト：産業用マイクロ波発生器
https://www.sairem.com/ja/industrial-microwave-generators/

2450MHz，3kW／6kW／10kW　マイクロ波ヘッド分離型電源

（スイッチモード方式）　

GMP G4 30K，GMP G4 60K，GMP G4 100Kは、産業用途とプラズマ生成向けに設計されており、 100%デジタルアーキテクチャによりスマートな電源制御を備えた信頼性の高いマイクロ波発生器です。
自動再起動機能 (ARF) や予防アラーム管理 (PAM、生産を停止せずにアラームを送信) などの複数の機能が実装されており、微小な停電の場合でもプロセスの最後まで進めることができます。

915MHz，18kW／36kW 電源　(スイッチモード方式)

GLP180KSM，GLP360KSM，GLP360KSM COMPACTは、スイッチモード電源とマグネトロンを単一キャビネットに実装した連続波マイクロ波発生器です。
PLCコントローラーを用いたマグネトロン陽極電圧、電磁場、フィラメント電流の同時制御によって、非常に低い電力設定 (5 kW)、効率の最大化、リップル低減、マグネトロンの長寿命化が図られています。
GLP360KSM COMPACTは、数週間にわたる稼働サイクルをサポートし、最も純粋なダイヤモンド生成に必要な狭いスペクトル発生のために開発された製品です。

915MHz，54kW／72kW／100kW 電源　(スイッチモード方式)

GLP540KSM，GLP720KSM，GLP100KSM は、スイッチモード電源とマグネトロンを単一キャビネットに実装した連続波マイクロ波発生器です。
PLCコントローラーを用いたマグネトロン陽極電圧、電磁場、フィラメント電流の同時制御によって、非常に低い電力設定 (5 kW)、効率の最大化、リップル低減、マグネトロンの長寿命化が図られています。
完全水冷 (空冷なし) により、塵・埃が多く、暖かく湿度の高い環境でも機能します。 (密閉空間にも設置可能)

915MHz，75kW／100kW 電源　(トランス方式)

GLP750KI，GLP1000KI は、トランス方式の電源とマグネトロンを単一キャビネットに実装した連続波マイクロ波発生器です。
PLCコントローラーを用いたマグネトロン陽極電圧、電磁場、フィラメント電流の同時制御によって、非常に低い電力設定 (7.5 kW、10kW)、効率の最大化、リップル低減、マグネトロンの長寿命化が図られています。
完全水冷 (空冷なし) により、塵・埃が多く、暖かく湿度の高い環境でも機能します。 (密閉空間にも設置可能)

ソリッドステートマイクロ波電源

Saurem社のGMS200，GMS450，GMS1000は、高安定・高出力の2450MHz帯ソリッドステートマイクロ波電源です。
100kHzステップの周波数設定、1Wステップの電力設定が可能で、パルス出力機能や反射電力を最小にするための自動調整機能、反射電力、過熱に対する保護機能などが搭載されています。
また、フロントパネルでのローカル制御・監視とModbus RS232，RS485/RS422，Ethernet，Profibus，CANopenなどを使用したリモート制御・監視およびアナログ信号による制御・監視が可能です。
このマイクロ波発生器は科学・産業用途向けに設計されており、1台または複数のMWアプリケータと共に使用され、小さな設置スペースで高い信頼性を確保しています。

SAIREM公式サイト：産業用ソリッドステートマイクロ波発生器
https://www.sairem.com/ja/industrial-solid-state-microwave-generators/

特　長

周波数安定度に優れ、100kHzステップの周波数可変が可能
低出力でも良好な周波数スペクトルが得られ、1Wステップの電力可変が可能
オールソリッドステートで、小型軽量、長寿命
電子管デバイスを使用しないので、高電圧部がなく安全で保守が容易
出力および反射電力のモニタが可能
反射電力を最小化するための周波数自動制御機能(SAIREM 自動調整アルゴリズム)搭載
反射電力、過熱に対する保護機能を内蔵
フロントパネル操作によるローカル制御および各種通信インターフェースによるリモート制御が可能

用　途

プラズマ応用 ：
ラジカル生成，除菌，ALD(原子層堆積法)による成膜，医療，大規模な表面処理など
研究用途：
化学応用，生物化学，乾燥，加熱，焼結，熔解など

仕　様


形式	GMS200WSM／ GMS200WIP　*1	GMS450WSM	GMS1000SM
周波数範囲	2400∼2500MHz (100kHz ステップ)
出力電力範囲	0∼200W (1W ステップ)	0∼450W (1W ステップ)	0∼1000W (1W ステップ) 　@2450MHz 0∼900W (1W ステップ) 　@2400∼2500MHz
出力リップル	< 0.2％ RMS	< 0.4％ RMS	< 1％ RMS
動作モード	連続波(SM)／パルス(IP)	連続波
パルス繰返し*1	0.2∼5000Hz	―
デューティサイクル*1	1∼99% (0.2∼100Hz) 10∼99% (101∼1000Hz) 50∼99% (1001∼5000Hz)	―
保護機能	反射電力，過熱
出力インターフェース	N型コネクタメス， 50オーム	7/16コネクタメス， 50オーム	WR340
制御インターフェース	ローカルインターフェース2 リモートインターフェース3 アナログ (M12コネクタ)*6	ローカルインターフェース2 リモートインターフェース4 アナログ (M12コネクタ)*6	― リモートインターフェース5 アナログ (M12コネクタ)7
供給電源	1Φ, 110∼230Vac±10%, 50/60Hz 690VA at 200W	1Φ, 110∼240Vac, 50/60Hz 1.2kVA max. at 450W	1Φ, 208∼240Vac, 50/60Hz 2.5kW max.
寸法 (WxDxH)	483 x 446 x 132.5mm	483 x 326 x 132.5mm	259 x 421 x 290mm
重量	11.8kg	12kg	25kg
冷却方式	強制空冷	水冷 (2L/min,@1.5bar,17∼22℃)	水冷 (4L/min,,16∼25℃)
動作周囲温度	5∼35℃		15∼40℃
カタログ	GMS200 (PDF)	GMS450 (PDF)	GMS1000 (PDF)

*1　SM：連続波出力／IP (INTERNAL PULS Version)：連続波出力とパルス出力が可能
*2　グラフィカルLCDスクリーン、3 つのプッシュボタンおよびメニューナビゲーションと電源制御用のノブで構成され、
　　すべての動作パラメータ、制御ステータス、および想定される障害、進行電力と反射電力が表示される
*3　Modbus on RS232 (MS)またはModbus RS485/RS422 (MM)またはProfibus (PB)またはCANopen (CA)より選択
*4　Modbus RTU RS232 (標準)またはRS485またはEthernetまたはProfibusまたはCANopenより選択
*5　Modbus RS232またはEthernetまたはProfibusより選択，PCで制御するLabVIEW™ベースのHMIが付属
*6　順方向電力制御用のアナログ入力設定と順方向および反射電力モニタのアナログ出力
*7　順方向電力制御用のアナログ入力設定 (0-10V入力 ⇒ 0-1000W出力)
※ 仕様詳細、外形図、特徴、用途等につきましては添付カタログをご覧下さい。

ソリッドステートマイクロ波電源サブシステム

Sairem社のKMS200，KMS450は、システムに組み込み可能な高安定・高出力の2450MHz帯ソリッドステートマイクロ波電源サブシステムです。
100kHzステップの周波数設定、1Wステップの電力設定が可能で、パルス出力機能や反射電力を最小にするための自動調整機能、反射電力、過熱に対する保護機能などが搭載されています。
また、Modbus RS232を介したLabVIEW®による制御や、CANopenを使用した産業用PLCによる制御が可能です。
このマイクロ波電源サブシステムは科学・産業用途向けに設計されており、1台または複数のMWアプリケータと共に使用され、小さな設置スペースで高い信頼性を確保しています。

SAIREM公式サイト：工業用固体マイクロ波発電機
https://www.sairem.com/ja/industrial-solid-state-microwave-generators/

特　長

周波数安定度に優れ、100kHzステップの周波数可変が可能
低出力でも良好な周波数スペクトルが得られ、1Wステップの電力可変が可能
オールソリッドステートで、小型軽量、長寿命
電子管デバイスを使用しないので、高電圧部がなく安全で保守が容易
出力および反射電力のモニタが可能
反射電力を最小化するための周波数自動制御機能(SAIREM 自動調整アルゴリズム)搭載
反射電力、過熱に対する保護機能を内蔵
Modbus RS232またはCANopenインターフェイスによるリモート制御が可能

用　途

プラズマ応用 ：
ラジカル生成，除菌，ALD(原子層堆積法)による成膜，医療(慢性創傷の治療)，樹脂開封（半導体プロセス)，元素分析、大規模な表面処理など
医療用途：
マイクロ波加熱による腫瘍アブレーション

仕　様


形式	KMS200AIR／KMS200IP*1	KMS450
周波数範囲	2400∼2500MHz (100kHz ステップ)
出力電力範囲	0∼200W (1W ステップ)	0∼450W (1W ステップ)
出力リップル	< 0.2％ RMS	< 0.4％ RMS
動作モード	連続波(SM)／パルス(IP)	連続波
パルス繰返し*1	0.2∼5000Hz	―
デューティサイクル*1	1∼99% (0.2∼100Hz) 10∼99% (101∼1000Hz) 50∼99% (1001∼5000Hz)	―
保護機能	反射電力，過熱
出力インターフェース	N型コネクタメス，50オーム
制御インターフェース	リモートインターフェース　　Modbus RS232*2 または CANopen
供給電源	1Φ, 110Vac(5A)∼240Vac (2.5A)，50/60Hz	1Φ, 110Vac(11A)∼240Vac (5.5A)，50/60Hz
寸法 (WxDxH)	381x 145 x 182mm	388 x 180 x 103mm
重量	7.5kg	7.05kg
冷却方式	強制空冷	水冷(2L/min,@1.5bar,17∼22℃)
動作周囲温度	18∼35℃	5∼35℃
カタログ	KMS200 (PDF)	KMS450 (PDF)

*1　KMS200AIR：連続波出力／KMS200IP (INTERNAL PULS Version)：連続波出力とパルス出力が可能
*2　すべての動作パラメータと制御ステータス用の LabVIEW™ ソフトウェアが提供されます (ライセンスは不要)
※ 仕様詳細、外形図、特徴、用途等につきましては添付カタログをご覧下さい。

マイクロ波電源