マイクロ波プラズマ源
キャビティ型マイクロ波プラズマ源7/16 同軸コネクタ接続仕様
APLC024-359（プラズマ噴出口Φ10mm）特 長
- キャビティ（共振器）型プラズマ源
- 圧力範囲 300Pa～大気圧
- 同軸ケーブルで電力を供給するため取り回しが容易
仕 様
| 型式 | APLC024-359 |
|---|---|
| 用途 | 薄膜形成、エッチング、分光解析、殺菌処理、親水処理 |
| 動作周波数 | 2450MHz |
| 入力電力範囲 | 100W～300W |
| 圧力範囲 | 300Pa～大気圧 |
| 使用ガス | Ar |
| 冷却方式 | 水冷式 |
| プラズマ噴出口 | 石英管 Φ10mm |
| 接栓 | 7/16型コネクタ（Female) |
キャビティ型マイクロ波プラズマ源とソリッドステート/マグネトロン電源の接続図
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APLC024-359
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同軸ケーブル
7/16 |
同軸型スタブチューナー 7/16 |
同軸ケーブル 7/16-Nアダプタ |
ソリッドステート電源 200W、450W  |
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同軸導波管変換器 7/16-WR340  |
マグネトロン電源
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