マイクロ波電源
915MHz，18kW／36kW 電源 (スイッチモード方式)
GLP180KSM，GLP360KSM，GLP360KSM COMPACTは、スイッチモード電源とマグネトロンを単一キャビネットに実装した連続波マイクロ波発生器です。PLCコントローラーを用いたマグネトロン陽極電圧、電磁場、フィラメント電流の同時制御によって、非常に低い電力設定 (5 kW)、効率の最大化、リップル低減、マグネトロンの長寿命化が図られています。
GLP360KSM COMPACTは、数週間にわたる稼働サイクルをサポートし、最も純粋なダイヤモンド生成に必要な狭いスペクトル発生のために開発された製品です。
特 長
- コンパクトで頑丈な設計
- オールインワン設計: 制御装置、電源、マイクロ波発生器、アイソレータを同一キャビネット内に実装
- GLP180KSM，GLP360KSM：ステンレススチール 304L キャビネット，GLP360KSM COMPACT：塗装スチールキャビネット
- 高信頼性
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- スイッチモード方式による精密な電力制御
- 100msec未満の自動再起動機能 (ARF) による生産停止や損失回避
- 効率を最大化し、マグネトロンの寿命延長を可能にするスマートな制御
- 低電力でも安定した出力
- 長時間プロセス向けの設計
- 精密な周波数スペクトル
- 低リップル
- マグネトロンの長寿命化
用 途
- プラズマ応用 ：
単結晶および多結晶合成ダイヤモンド，
さまざまなプラズマ生成アプリケーション (PECVD、ガス化、ガス削減など) - 産業用途：
加熱(液体、エッセンシャルオイル、木材、 ゴム、熱可塑性プラスチック、バイオマスなど) ，
乾燥(セラミック、粉末など)
仕 様
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| 形式 | GLP180KSM | GLP360KSM | GLP360KSM COMPACT |
| 周波数範囲 | 915MHz ± 10MHz または 896MHz ± 10MHz (オプション) |
915MHz ± 10MHz | |
| 出力電力範囲 | 5∼18kW | 5∼36kW | |
| 出力リップル | 2％ RMS @5∼18kW | 2％ RMS @5∼36kW | |
| 動作モード | 連続波，自動再起動 (100msec未満) | 連続波，自動再起動 (5msec未満) |
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| 出力立上り | 5SEC @最大電力到達 | 20SEC @最大電力到達 | |
| 反射電力保護 | 反射電力 100% | ||
| 出力導波管 | WR975，フランジCPR975 | ||
| 供給電源 | 3Φ，380/415V，50/60Hz 28kVA @最大電力 |
3Φ，380/415V，50/60Hz 53kVA @最大電力 |
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| 制御インターフェース | ローカルインターフェース*1 リモートインターフェース アナログまたはEthernet Modbus ProfibusおよびCanOpen (オプション) |
ローカルインターフェース*1 リモートインターフェース Ethernet Modbus アナログ制御*2 |
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| 外形寸法 (HxWxD) |
1810 x 1266 x 850mm | 2092 x 1622 x 806mm | |
| 重量 | 530kg | 570kg | 653kg |
| 防塵・防水保護 | IP20 | IP54 | |
| 冷却方式 | 水冷 (35L/min,@4bar,18∼23℃) |
水冷 (45L/min,@4bar,18∼23℃) |
水冷 (52L/min,@4bar,18∼23℃) |
| 安全機能 | インターロック，安全リレー，非常停止 マイクロ波漏洩検知器 （オプション） |
インターロック， 安全リレー，非常停止 |
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| カタログ | GLP80 GLP360 (PDF) | GLP360 Compact (PDF) | |
*1 すべての動作パラメータと障害はカラータッチスクリーンで確認できます。
*2 アナログ制御 － 主電源のオン/オフ、MW のオン/オフ、リセット、外部緊急停止、設定値電力、放射電力、反射電力の測定
※ 仕様詳細、外形図、特徴、用途等につきましては添付カタログをご覧下さい。
*2 アナログ制御 － 主電源のオン/オフ、MW のオン/オフ、リセット、外部緊急停止、設定値電力、放射電力、反射電力の測定
※ 仕様詳細、外形図、特徴、用途等につきましては添付カタログをご覧下さい。