マイクロ波電源
915MHz，54kW／72kW／100kW 電源 (スイッチモード方式)
GLP540KSM，GLP720KSM，GLP100KSM は、スイッチモード電源とマグネトロンを単一キャビネットに実装した連続波マイクロ波発生器です。PLCコントローラーを用いたマグネトロン陽極電圧、電磁場、フィラメント電流の同時制御によって、非常に低い電力設定 (5 kW)、効率の最大化、リップル低減、マグネトロンの長寿命化が図られています。
完全水冷 (空冷なし) により、塵・埃が多く、暖かく湿度の高い環境でも機能します。 (密閉空間にも設置可能)
特 長
- コンパクトで頑丈な設計
- オールインワン設計: 制御装置、電源、マイクロ波発生器、アイソレータを同一キャビネット内に実装
- ステンレススチール 304L キャビネット，気密構造
- 高信頼性
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- スイッチモード方式による精密な電力制御
- 100msec未満の自動再起動機能 (ARF) による生産停止や損失回避
- 効率を最大化し、マグネトロンの寿命延長を可能にするスマートな制御
- 湿った環境での設置に対する IP54 保護 (気密設計)
- 低電力でも安定した出力
- 長時間プロセス向けの設計
- 精密な周波数スペクトル
- 低リップル
- マグネトロンの長寿命化
用 途
- プラズマ応用 ：
単結晶および多結晶合成ダイヤモンド，
さまざまなプラズマ生成アプリケーション (PECVD、ガス化、ガス削減など) - 産業用途：
加熱(液体、エッセンシャルオイル、木材、 ゴム、熱可塑性プラスチック、バイオマスなど) ，
乾燥(セラミック、粉末など)
仕 様
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| 形式 | GLP540KSM IP54 | GLP720KSM IP54 | GLP1000KSM IP54 |
| 周波数範囲 | 915MHz ± 10MHz または 896MHz ± 10MHz |
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| 出力電力範囲 | 5∼54kW | 5∼72kW | 5∼100kW |
| 出力リップル | 2％ RMS @5∼54kW | 2％ RMS @5∼72kW | 2％ RMS @5∼100kW |
| 動作モード | 連続波，自動再起動 (100msec未満) | ||
| 出力立上り | 10SEC ＠最大電力到達 | ||
| 反射電力保護 | 反射電力 100% | ||
| 出力導波管 | WR975，フランジCPR975 | ||
| 供給電源 | 3Φ，380/415V，50/60Hz 70kVA @最大電力 |
3Φ，380/415V，50/60Hz 90kVA @最大電力 |
3Φ，380∼415V，50/60Hz 135kVA @最大電力 |
| 制御インターフェース | ローカルインターフェース*1 リモートインターフェース アナログまたはEthernet Modbus、ProfibusおよびCanOpen (オプション) |
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| 外形寸法 | 2078 x 1728 x 1134mm (HxWxD) | ||
| 重量 | 830kg | 870kg | 950kg |
| 防塵・防水保護 | IP54 | ||
| 冷却方式 | 水冷 (60L/min,@4bar,18∼23℃) |
水冷 (75L/min,@4bar,18∼23℃) |
水冷 (80L/min,@4bar,18∼23℃) |
| 安全機能 | インターロック，安全リレー，非常停止，マイクロ波漏洩検知器 （オプション） | ||
| カタログ | GLP540 GLP720 GLP1000 (PDF) | ||
*1 すべての動作パラメータと障害はカラータッチスクリーンで確認できます。
仕様詳細、外形図、特徴、用途等につきましては添付カタログをご覧下さい。
仕様詳細、外形図、特徴、用途等につきましては添付カタログをご覧下さい。
